系列包含 3 大基础机型：DZ‑100（带阀 MFC 控制器，主力型号 DZ‑114S）、DZ‑100M（无阀 MFM 流量计，仅测量）、DZ‑107（大流量扩展 MFC）。整机统一 10mm 超薄宽度，压电阀驱动，压差层流测量原理，EtherCAT 总线通讯，外置电源，单电源最多驱动 4 台模块，VCR 接头属于选配配件。
产品简介
DZ‑100 系列是面向半导体高密度气箱的超薄质量流量模块，采用压差层流检测架构，摒弃传统热丝传感，降低温度、供气压力波动带来的流量漂移。机身宽度仅 10mm，重量轻，可高密度并排安装，缩小气箱体积。内部流路死体积小，气体置换速度快；支持多气体、多量程在线切换，无需拆回设备校准。压电阀驱动实现≤0.4s 快速响应，适配 ALD 高频脉冲供气场景。接液部件超净抛光，适配高纯及部分腐蚀性工艺气体。
产品特点
超薄小型化，机身宽度 10mm，高度 99mm，DZ‑100/DZ‑100M 重量 230g，气箱可高密度排布多路流量通道，实现设备小型化。
压差层流测量原理，受供气压力、环境温度变化干扰小，流量输出稳定。
压电阀闭环驱动，上升响应≤0.4s，适配 ALD 高频脉冲、快速工艺切换。
内置气体数据库，EtherCAT 总线在线切换气体种类与满量程，减少备件库存，产线无需拆卸模块即可修改工艺参数。
外置电源单元，一台电源盒最多驱动 4 台模块，简化设备布线。
低死体积流路，气体置换快，缩短吹扫切换时间。
内置运行数据记录，保存阀门动作次数、累计流量、温压极值，支持设备状态预判维护。
接液材质超净处理，微粒析出低，适配半导体超净气路环境。
各基础机型区分
DZ‑100（DZ‑114S，带阀 MFC）
具备测量 + 闭环流量控制，主流型号。内部分 L/M/H 三流量档位：‑L 档：11‑450SCCM‑M 档：53SCCM‑1.7SLM‑H 档：80SCCM‑2.9SLM重复性 ±0.3% SP；工作温度 15‑45℃。
DZ‑100M（MFM 质量流量计，无阀门）
只做流量采集读取，不带调节阀，无法闭环控流量；流量档位同样 L/M/H；适合只监测、不需要调节流量的气路支路。
DZ‑107（大流量 MFC）
保持 10mm 超薄宽度，最大量程 20SLM；工作温度拓宽至 15‑60℃；面向大流量刻蚀、CVD 工艺；带压电调节阀，支持多气体在线切换。
通用技术参数
测量原理：压差层流式接液材质：SUS316L、合金密封件通讯接口：RJ45 EtherCAT供电：外置独立电源单元，单电源最大驱动 4 台模块耐压：1.0MPa (A)上升响应时间：≤0.4s重复性：±0.3% SP存储温度：0‑80℃安装姿态：无限制状态记录：调零计数、阀门动作次数、压力温度极值、超长、总运行时长、累计流量
应用场景
半导体 ALD 原子层沉积、干法刻蚀、CVD 薄膜沉积；高密度集成气箱设备；Mini‑Fab 小型半导体设备；MEMS 器件制造；多通道气体配比工艺；科研实验室多路气体供给。
HORIBA 堀场 DZ‑100M 超薄质量流量计HORIBA 堀场 DZ‑100M 超薄质量流量计

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