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D522MG-厂商性质
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HORIBA 堀场 D522MG 中大流量质量流量计面向中大流量工艺气路，压差层流测量架构，不受供气压力波动干扰。搭载 MG 多气体功能，通讯总线可在线切换气体种类、修改满量程参数，无需拆回设备校准。内置 G‑LIFE 快速自诊断功能，可检测阀座泄漏、传感器漂移异常。压电金属隔膜阀，全阶稳定时间≤0.8s，耐压能力强。接液部件超净电解抛光，适配中大流量高纯、腐蚀性工艺气体。
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D512MG-厂商性质
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81产品描述
HORIBA 堀场 D512MG 中流量质量流量计压差式 MFC，为该系列中小流量主力量产机型，采用压差层流测量架构，不受供气压力波动干扰。搭载 MG 多气体功能，通讯端可在线切换气体种类、修改满量程参数，无需拆回设备校准。内置 G‑LIFE 快速自诊断，可检测阀座泄漏、传感器漂移异常。压电金属隔膜阀，流路死体积小，全阶稳定时间≤0.8s。接液部件超净电解抛光，适配高纯、腐蚀性工艺气体。
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D511MG-厂商性质
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2026-09-03浏览次数
50产品描述
HORIBA 堀场D511MG微流量质量流量计面向小流量、微量气体供给场景。采用压差层流测量原理，不受供气压力波动干扰，搭载 MG 多气体功能，通讯端可在线切换气体种类与满量程参数，无需拆回设备校准。内置 G‑LIFE 自诊断功能，可检测阀座泄漏、传感器漂移。压电金属隔膜阀，流路死体积小，响应快。接液部件超净电解抛光，适配高纯与腐蚀性工艺气体。机械安装尺寸可被 D700uF 直接替换，VCR 接头
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D500-厂商性质
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107产品描述
HORIBA 堀场 D500系列质量流量模块流量计子型号：D511MG、D512MG、D522MG、D507；压差压力式测量架构，压电阀驱动，多气体多量程，带 G‑LIFE 内置自诊断，D700 系列前代主力机型，VCR 接头属于选配配件。
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DZ‑107-厂商性质
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80产品描述
HORIBA堀场 DZ‑107大流量超薄流量计大流量压差式 MFC，保持机身 10mm 超薄宽度，最大量程可达 20SLM，补足同系列大流量工况缺口。压差层流测量架构，压电阀闭环控制，EtherCAT 总线通讯，支持在线切换气体与满量程参数。工作温度上限提升至 60℃，适配设备气箱内部高温环境。沿用系列统一安装尺寸，可与 DZ‑100、DZ‑100M 混合并排安装；外置电源供电，单电源最多驱动 4
