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HORIBA堀场D700uF压力式质量流量模块流量计压强不敏感微流量 MFC，面向 5SCCM 及以内极小气体流量工况。采用压差式测量结构，摒弃传统热丝检测方式，压力波动对流量输出干扰小。可控下限低至 0.025SCCM，上升响应≤100ms，搭载 EtherCAT 总线通讯，内置设备状态监测。阀座采用 PFA 喷嘴结构，泄漏低、微粒析出少，适配高纯、腐蚀性特种工艺气体。机械安装尺寸兼容同系列其他
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KOFLOC 科赋乐8750‑F3质量流量计 型号：8750‑F3 额定量程：100SLM（氮气基准） 产品系列：8750 子系列带显示数字热式质量流量设备 测量原理：热绕组式质量流量传感 测量精度：±1.5% F.S 重复性：±0.5% F.S 响应时间：≤3s 测量控制范围：5‑100% FS 适用介质：氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等工艺气体，支持气体系数切换
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KOFLOC 科赋乐8750‑F2质量流量计 型号：8750‑F2 额定量程：50SLM（氮气基准） 产品系列：8750 子系列带显示数字热式质量流量设备 测量原理：热绕组式质量流量传感 测量精度：±1.5% F.S 重复性：±0.5% F.S 响应时间：≤3s 测量控制范围：5‑100% FS 适用介质：氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等工艺气体，支持气体系数切换
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KOFLOC 科赋乐8750‑F1质量流量计 型号：8750‑F1 额定量程：30SLM（氮气基准） 产品系列：8750 子系列带显示数字热式质量流量设备 测量原理：热绕组式质量流量传感 测量精度：±1.5% F.S 重复性：±0.5% F.S 响应时间：≤3s 测量控制范围：5‑100% FS 适用介质：氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等工艺气体，支持气体系数切换
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KOFLOC 科赋乐8700‑F8质量流量计 型号：8700‑F8 额定量程：20SLM（氮气基准） 产品系列：8700 系列带显示数字热式质量流量设备 测量原理：热绕组式质量流量传感 测量精度：±1.0% F.S 重复性：±0.5% F.S 响应时间：≤2s 测量控制范围：2‑100% FS 适用介质：氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等工艺气体，支持气体系数切换
