子型号：D700uF 微流量型、D700MG 多气体高速型、D700WR 宽量程型、D700T 高性能型。压力式流量测量结构，搭载 EtherCAT 总线，具备测量 + 闭环控流能力，面向半导体高纯工艺气体，整机重量 1.0‑1.1kg，机械安装尺寸可兼容前代机型，替换无需改动原有气路结构。接头为选配配件。

产品简介

D700 系列压力不敏感型质量流量模块，也就是行业常说的质量流量控制器，口语俗称流量计。摒弃传统热传感测量结构，依靠压差传感配合节流算法换算质量流量，受气体温度变化影响小。流量覆盖 0.025SCCM 微小流量到大流量区间，适配 ALD、刻蚀、薄膜沉积等优良制程。支持设备端在线修改气体参数、切换满量程，内置完整设备状态诊断记录；阀组采用 PFA 喷嘴结构，泄漏水平低，微粒析出少，适配各类高纯与腐蚀性工艺气体。

核心技术原理

依靠上下游双压力传感器采集压差信号，结合内部节流元件流体特性算法运算输出质量流量数值。不依赖热丝元件，面对进出口压力波动、环境温度变化，流量输出依旧稳定。设备内部多点采集压力、温度运行数据，可记录阀门动作次数、累计流量、压力温度极值，用于设备状态预判。电磁阀搭配 PFA 喷嘴阀座，强化耐腐蚀性能，降低泄漏与微粒生成风险。

各子型号技术特点

D700uF 微流量型

面向 5SCCM 以内极小流量工况，可控下限低至 0.025SCCM，适配 ALD、高深宽比刻蚀微量前驱体供给。上升响应≤100ms，重复性 ±0.25% SP，阀座泄漏数值低，适合微量掺杂、第三代半导体薄膜工艺。

D700MG 多气体高速型

依靠 EtherCAT 通讯，设备端在线切换气体种类与满量程参数，无需拆回设备校准；上升响应≤100ms，搭载小流量分档功能，多台模块之间流量一致性好，兼容多种腐蚀性特种气体。产线更改工艺参数不用拆卸模块，缩短设备调试工时。

D700WR 宽量程型

单台实现 0.1‑100% FS 超宽控制区间，单台设备可以替代高低流量两台流量模块，上升响应≤500ms。减少气箱内部设备数量，适配工艺窗口跨度较大的沉积、退火工序。自带运行日志，记录阀门动作计数、累计流量、温压极值，方便维护预判故障。

D700T 高性能型

上升、下降全区间稳定时间≤100ms，重复性可达 ±0.15% SP，精度最高 ±0.45% SP；工作温度区间 15‑60℃。内置传感器漂移、阀座泄漏、流量偏移诊断能力，为单气体配置，用于流量稳定性要求严苛的关键制程工位。

通用技术参数

接液材质：SUS316L、镍合金、PFA通讯：RJ45 EtherCAT；供电 M8‑5pin 24VDC±4V；常规功耗 7.0W，瞬时峰值 9.6W耐压：1000kPa (A)；氦检漏≤5×10⁻¹²Pa・m³/s工作环境：15‑45℃（D700T 支持 60℃），20‑80% RH 无凝露存储温度：0‑80℃；安装姿态无特殊限制状态记录项目：流量调零计数、阀门驱动次数、压力温度极值、超限累计时长、设备总运行时长、累计流量。

应用场景

半导体 ALD 原子层沉积、高深宽比干法刻蚀、薄膜沉积、离子注入微量掺杂，第三代半导体、MEMS 器件、光伏 PECVD，高纯特种气体精密配比控制。
HORIBA堀场D700WR 宽量程气体质量流量计HORIBA堀场D700WR 宽量程气体质量流量计

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