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现货EBARA 荏原 ESA25‑D 干式真空泵属于 ESA 系列外延专用干式真空泵，为中型外延工艺机型，针对氢气、氦气等轻质气体抽取做专项优化，无油干式罗茨结构，水冷散热，适配 MOCVD、中型 Load‑Lock 腔体等洁净真空制程。机身结构紧凑，适配产线机房布置，支持 7×24 小时连续量产运行，可搭配氮气反吹抑制泵内沉积物，降低维护频次，广泛用于半导体、光电芯片量产产线。
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现货EBARA 荏原 ESA15‑D 干式真空泵EBARA 荏原 ESA15‑D属于 ESA 系列外延专用干式真空泵，紧凑型机身设计，专门针对氢气、氦气等轻质气体抽取优化，无油干式罗茨结构，水冷散热，适配 MOCVD、小型 Load‑Lock 腔体等洁净真空制程。整机体积小巧，占用空间少，支持长时间连续量产运行，可搭配氮气反吹抑制内部沉积物，降低维护频次，适合半导体、光电研发及中小规模量产产线使用
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EBARA 荏原 EV‑SA50 风冷罗茨干式真空泵 型号：EV‑SA50 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准款 冷却方式：风冷，无需冷却水 抽气速率：5000 L/min 极限真空：0.5‑3.0 Pa（气镇关闭）；1.0‑5.0 Pa（气镇开启） 供电：单相 / 三相 200‑240V，50/60Hz，电压允许波动 ±10% 通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读
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EBARA 荏原 EV‑SA30 风冷罗茨干式真空泵 型号：EV‑SA30 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准款 冷却方式：风冷，无需冷却水 抽气速率：3000 L/min 极限真空：0.5‑3.0 Pa（气镇关闭）；1.0‑5.0 Pa（气镇开启） 供电：单相 / 三相 200‑240V，50/60Hz，电压允许波动 ±10% 通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读
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EBARA 荏原 EV‑SA20 风冷罗茨干式真空泵型号：EV‑SA20 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准款 冷却方式：风冷，无需冷却水 抽气速率：1670 L/min 极限真空：0.5‑3.0 Pa（气镇关闭）；1.0‑5.0 Pa（气镇开启） 供电：单相 / 三相 200‑240V，50/60Hz，电压允许波动 ±10% 通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读取
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