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产品型号
CRYO-U8HSP- -
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2026-08-31 -
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产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U8HSP闭循环低温冷冻泵CRYO‑U8HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 代表溅射工艺专用版本，针对氩气环境做专项优化，氩气吸附容量大幅提升，适配高频溅射工况。ISO200 法兰规格，运行无需液氦耗材，依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空
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CRYO-U8HSP-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U8HSP闭循环低温冷冻泵CRYO‑U8HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 代表溅射工艺专用版本，针对氩气环境做专项优化，氩气吸附容量大幅提升，适配高频溅射工况。ISO200 法兰规格，运行无需液氦耗材，依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空
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CRYO-U8HL-厂商性质
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57产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U8HL闭循环低温冷冻泵CRYO‑U8HL 属于两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，HL 代表大吸附容量长周期版本，增大气体存储容量，延长两次再生之间的运行时长，减少停机维护频次。ISO200 法兰规格，无需液氦耗材，依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空。
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CRYO-U8H-U-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U8H-U闭循环低温冷冻泵CRYO‑U8H‑U 属于两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，U 后缀为兼容替换版本，安装接口、外形尺寸适配老式 CT‑8 低温泵，旧设备改造无需改动腔体法兰与管路。依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空，运行无需液氦介质，ISO200 法兰规格，抽气性能与 CRYO‑U8H 保持一致，氢气抽气表现优于老款 CT‑8 机型
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CRYO‑U6H -厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO‑U6H 闭循环低温冷冻泵CRYO‑U6H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，依靠低温冷凝与吸附获取洁净高真空，运行无需液氦介质。ISO150 法兰 6 英寸规格，机身轻巧紧凑，定位小型腔体、实验室设备、中小试镀膜工艺，水汽抽除性能优异
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CRYO-U8H-厂商性质
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2026-08-31浏览次数
81产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U8H 闭循环低温冷冻泵CRYO‑U8H 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，依靠低温冷凝、吸附实现洁净高真空，运行无需液氦介质。ISO200 法兰规格，机身紧凑轻量化，多用于中小型镀膜、半导体研发及中小量产腔体，水汽抽除能力突出
