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CRYO-U12HSP-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U12HSP闭循环低温冷冻泵CRYO‑U12HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 溅射强化专用版本，UVG‑300 法兰，氩气吸附容量约为标准 CRYO‑U12H 的 2 倍，氢气抽速同步提升，适配中大腔体大氩气流量磁控溅射产线。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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ULVAC 爱发科CRYO-U12HL闭循环低温冷冻泵CRYO‑U12HL 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，HL 大吸附容量长周期版本，UVG‑300 法兰，氩气存储容量相比标准 CRYO‑U12H 提升，延长连续运行周期，减少热再生频次。依靠低温冷凝吸附获取洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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ULVAC 爱发科CRYO-U12H闭循环低温冷冻泵CRYO‑U12H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，UVG‑300 大法兰规格，抽气流量大，面向中大尺寸量产真空腔体，无需液氦耗材，依靠低温冷凝与吸附获取洁净无油高真空。泵本体不可单独运行，需搭配对应氦压缩机组；可外接测温组件监测冷头温度，支持手动、PLC 远程热再生控制。
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CRYO‑U10HSP-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO‑U10HSP闭循环低温冷冻泵CRYO‑U10HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 为溅射工艺专用版本，氩气吸附容量为标准款 CRYO‑U10H 的 2 倍，适配大氩气流量溅射产线。ISO250 法兰规格，运行无需液氦耗材，依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空
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ULVAC 爱发科CRYO-U10H闭循环低温冷冻泵CRYO‑U10H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，ISO250 法兰规格，依靠低温冷凝、吸附获得洁净高真空，运行无需液氦耗材。抽气能力相比 U8H 进一步提升，适配中等尺寸量产腔体，广泛用于溅射、蒸镀类工艺。
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