产品型号
EMT1307M -代理品牌厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
57产品描述
EBARA荏原EMT1307M磁悬浮复合涡轮分子泵氮气抽速 1300L/s，标配水冷结构，进气法兰 DN200，可选 ISO-K、CF 法兰。转子无机械接触，振动极低，可任意姿态安装，支持耐蚀涂层、控温定制，大抽气量，搭配大流量干式前级泵，适用于半导体大型制程腔、大腔体薄膜沉积等高负载超高真空场景。
产品型号
EMT907M -代理品牌厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
54产品描述
供应EBARA荏原EMT907M磁悬浮复合涡轮分子泵EBARA 荏原五轴主动磁悬浮轴承分子泵，氮气抽速 900L/s，无油无碳氢污染，主流为水冷方案，进气法兰 DN160，可选 ISO-K、CF 法兰。转子无机械接触，振动极低，支持任意姿态安装，可定制耐蚀涂层、控温版本，抽气流量更大，搭配大流量 EV 干式真空泵作为前级泵，多用于半导体刻蚀、PVD 溅射、大型镀膜等高负载超高真空制程。
产品型号
EMT427M -代理品牌厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
48产品描述
供应EBARA荏原EMT427M五轴磁悬浮复合分子泵EBARA 荏原五轴主动磁悬浮轴承分子泵，氮气抽速 400L/s，无油无碳氢污染，支持风冷 / 水冷两种冷却方案，进气法兰 DN100，可选 ISO-K、CF 法兰。转子无机械接触，振动极低，可任意姿态安装，支持耐蚀涂层定制，抽气性能更强，搭配 EV 系列干泵作为前级泵，多用于半导体精密检测、镀膜、分析仪器。
产品型号
EMT397M -代理品牌厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
66产品描述
供应EBARA荏原EMT397M五轴磁悬浮复合分子泵EMT397M 属于 EMT 系列，是日本 EBARA 荏原五轴主动磁悬浮轴承分子泵，氮气抽速 340L/s，无油无碳氢污染，支持风冷 / 水冷两种冷却方案，进气法兰 DN100，可选用 ISO-K、CF 法兰。转子无机械接触，振动极低，支持任意姿态安装，可选耐蚀涂层版本，适配中小型超高真空设备，常搭配 EV 系列干式真空泵作为前级泵
产品型号
EMT 系列 -优势厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
69产品描述
供应EBARA荏原EMT系列五轴磁悬浮复合分子泵适用于 340 至 4,200 升/分钟的宽广排气速度范围。提供集成控制器类型和空冷/水冷类型。
相关文章
