简要描述：EBARA荏原EMT1307M磁悬浮复合涡轮分子泵氮气抽速 1300L/s，标配水冷结构，进气法兰 DN200，可选 ISO-K、CF 法兰。转子无机械接触，振动极低，可任意姿态安装，支持耐蚀涂层、控温定制，大抽气量，搭配大流量干式前级泵，适用于半导体大型制程腔、大腔体薄膜沉积等高负载超高真空场景。

优势代理品牌

产品简介：EMT 系列是日本 EBARA 荏原五轴磁悬浮轴承型复合涡轮分子泵，无油无碳氢污染，抽速覆盖 340~2400L/s，另有 EMT-MK 高抽速版本可达 4200L/s。采用磁悬浮无接触转子，可选空冷 / 水冷、耐蚀涂层、控温、抗辐射、超低振动定制版本，安装姿态不受限制，用于超高真空 UHV、半导体刻蚀、镀膜、电镜、精密分析设备等高要求洁净真空场景。

产品特点

1. 五轴主动磁悬浮轴承，转子无机械接触、无磨损，无润滑油，消除碳氢污染，适合超高真空 UHV 工艺，维护周期极长。

2. 安装姿态自由，可任意角度摆放，不受安装方位限制，设备集成灵活。

3. 多规格定制选型：标配 / 耐化学腐蚀涂层型、控温版本、抗辐射版本、超低振动版本；冷却可选风冷或者水冷，控制器分一体集成式、独立分离式两种。

4. 高气体吞吐量，可承受工艺冲击与突发放气，适配半导体刻蚀、溅射等有工艺气体的严苛制程。

5. 智能监控与通讯，内置运行监测、故障报警，支持网络通讯，可接入产线自动化控制系统；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 安全规范。

6. 振动极低，对振动敏感的检测设备、电子显微镜、X 射线分析设备非常友好。

EMT 系列基础型号清单

表格

                                                    EMT-MK 大抽速子系列：EMT1700MK、EMT2200MK、EMT3300MK、EMT3800MK、EMT4200MK，抽速 1650~4200L/s。

核心技术参数

表格

                      适用范围

半导体 EUV 光刻、刻蚀、PECVD、PVD 溅射、ALD 原子层沉积；CD 线宽量测、SEM/TEM 透射扫描电镜；XPS、X 射线分析、质谱、残余气体分析仪 RGA；MEMS 微加工、薄膜镀膜；同步辐射、粒子加速器、科研超高真空实验；LED、光伏真空制程。

标准配件

分子泵主机；可选配件：一体式控制器、水冷套件、耐蚀涂层、抗辐射组件、振动监测模块、原厂维修备件包。
EBARA荏原EMT1307M磁悬浮复合涡轮分子泵EBARA荏原EMT1307M磁悬浮复合涡轮分子泵

我司优势代理品牌：EBARA荏原、坂口电热 SAKAGUCHI、EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克:、SANKO三高、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、UILVAC爱发科、TORAY东丽、ANALYZER第一热研、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、0TSUKA大塚电子、ITOH伊藤、日本MTL、THOMAS、kakuhunter写真化学、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMITOP乐控TSUBAKI椿本、MIYUKI 美幸辉