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EMF-2P厂商性质
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RIX瑞顾克斯EMF半导体设备多通道旋转接头为半导体 CMP 设备专用多通道机械密封式旋转接头。本体集成多路独立流道，可同时输送真空、干燥压缩空气、超纯水、CMP 研磨浆料多种介质，在抛光主轴持续旋转工况下，完成晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。EMF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
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EMF 系列-厂商性质
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MS-2P-厂商性质
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RIX 瑞顾克斯MS-2P半导体旋转接头联轴器专为半导体晶圆旋转工作台开发的多通道机械密封式旋转接头。 MS 系列可同时输送真空、压缩空气、超纯水多种介质，在工作台持续旋转工况下，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却纯水多路介质同步供给，适配半导体晶圆冷却平台、真空卡盘设备。MS 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数向 RIX 原厂生产。
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MS-5P-厂商性质
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RIX 瑞顾克斯MS-5P半导体旋转接头联轴器专为半导体晶圆旋转工作台开发的多通道机械密封式旋转接头。 MS 系列可同时输送真空、压缩空气、超纯水多种介质，在工作台持续旋转工况下，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却纯水多路介质同步供给，适配半导体晶圆冷却平台、真空卡盘设备。MS 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数向 RIX 原厂生产。
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MS-4P-厂商性质
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RIX 瑞顾克斯MS-4P半导体旋转接头联轴器专为半导体晶圆旋转工作台开发的多通道机械密封式旋转接头。 MS 系列可同时输送真空、压缩空气、超纯水多种介质，在工作台持续旋转工况下，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却纯水多路介质同步供给，适配半导体晶圆冷却平台、真空卡盘设备。MS 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数向 RIX 原厂生产。
