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RIX 瑞顾克斯MS-3P半导体旋转接头联轴器专为半导体晶圆旋转工作台开发的多通道机械密封式旋转接头。 MS 系列可同时输送真空、压缩空气、超纯水多种介质，在工作台持续旋转工况下，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却纯水多路介质同步供给，适配半导体晶圆冷却平台、真空卡盘设备。MS 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数向 RIX 原厂生产。
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MS 系列-厂商性质
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RIX 瑞顾克斯MS半导体多通道旋转接头联轴器专为半导体晶圆旋转工作台开发的多通道机械密封式旋转接头。 MS 系列可同时输送真空、压缩空气、超纯水多种介质，在工作台持续旋转工况下，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却纯水多路介质同步供给，适配半导体晶圆冷却平台、真空卡盘设备。MS 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数向 RIX 原厂生产。
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MFC6P-厂商性质
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60产品描述
RIX 瑞顾克斯MFC6P多通道旋转接头联轴器日本 RIX（リックス株式会社，瑞顾克斯）MFC 系列，间隙非接触密封式多通道旋转接头，玉崎代理，可提供原厂订货服务。 MFC 系列采用精密间隙流体薄膜密封原理，转子与定子密封面无物理接触摩擦，是面向半导体设备开发的多路流体旋转输送部件，可在主轴持续旋转状态下，同步传输多路真空、压缩空气介质，也可适配液压油工况，广泛配套半导体真空卡盘、CMP 抛光设备
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MFC4P-厂商性质
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50产品描述
RIX 瑞顾克斯MFC4P多通道旋转接头联轴器日本 RIX（リックス株式会社，瑞顾克斯）MFC 系列，间隙非接触密封式多通道旋转接头，玉崎代理，可提供原厂订货服务。 MFC 系列采用精密间隙流体薄膜密封原理，转子与定子密封面无物理接触摩擦，是面向半导体设备开发的多路流体旋转输送部件，可在主轴持续旋转状态下，同步传输多路真空、压缩空气介质，也可适配液压油工况，广泛配套半导体真空卡盘、CMP 抛光设备
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MFC3P-厂商性质
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61产品描述
RIX 瑞顾克斯MFC3P多通道旋转接头联轴器日本 RIX（リックス株式会社，瑞顾克斯）MFC 系列，间隙非接触密封式多通道旋转接头，玉崎代理，可提供原厂订货服务。 MFC 系列采用精密间隙流体薄膜密封原理，转子与定子密封面无物理接触摩擦，是面向半导体设备开发的多路流体旋转输送部件，可在主轴持续旋转状态下，同步传输多路真空、压缩空气介质，也可适配液压油工况，广泛配套半导体真空卡盘、CMP 抛光设备
