简要描述：RIX 瑞顾克斯MFC4P多通道旋转接头联轴器日本 RIX（リックス株式会社，瑞顾克斯）MFC 系列，间隙非接触密封式多通道旋转接头，玉崎代理，可提供原厂订货服务。 MFC 系列采用精密间隙流体薄膜密封原理，转子与定子密封面无物理接触摩擦，是面向半导体设备开发的多路流体旋转输送部件，可在主轴持续旋转状态下，同步传输多路真空、压缩空气介质，也可适配液压油工况，广泛配套半导体真空卡盘、CMP 抛光设备

RIX 瑞顾克斯MFC4P多通道旋转接头联轴器RIX 瑞顾克斯MFC4P多通道旋转接头联轴器

核心产品特点

1. 非接触间隙密封，无磨损、寿命长依靠微米级精密间隙形成流体薄膜实现密封，密封面之间不存在实体摩擦，消除密封件磨损损耗问题，不会因长期旋转导致泄漏量上升，大幅延长产品使用寿命。

2. 低发热、低产尘，适配半导体洁净制程无摩擦副结构，高速旋转时发热量小，几乎不产生磨损微粒，从源头降低晶圆颗粒污染风险，满足半导体洁净车间使用要求。

3. 一体化多通道集成设计单一本体集成多路独立流道，可同时输送多路真空、压缩空气介质，替代多组单通道旋转接头，节省设备主轴安装空间，便于和滑环组合装配。

4. 介质兼容性广支持真空、干燥压缩空气介质，也可用于液压油工况；气体负压、低压工况均可稳定运行。

5. 高速稳定运转，规格可定制气体介质版本最高转速可达 3000min⁻¹；液压油版本最高转速 1000min⁻¹，通道数量、接口规格、安装法兰均可根据设备需求定制开发。

详细技术参数

• 密封形式：间隙非接触密封

• 适用流体：真空、干燥压缩空气、液压油

• 压力范围：真空 / 空气工况：-100kPa ~ 0.5MPa；液压油工况最高可达 21MPa

• 最高转速：真空 & 空气工况 3000min⁻¹；液压油工况 1000min⁻¹

• 本体材质：不锈钢

• 流路通道：多通道集成，通道数量可定制

• 使用环境：半导体洁净车间、精密设备

型号说明

MFC 为系列母型号，后缀 P 代表通道 Port，基础子型号按通道数量划分，完整型号需要叠加接口、安装形式等定制编码：

• MFC1P：单通道间隙密封旋转接头

• MFC2P：2 通道间隙密封旋转接头

• MFC3P：3 通道间隙密封旋转接头（半导体真空卡盘常用款）

• MFC4P：4 通道间隙密封旋转接头

• MFC6P：6 通道多路一体旋转接头

可扩展 MFC5P、MFC8P 等更多通道规格；完整型号编码由通道数量 + 原厂定制编号组成，属于订单式生产，无现成成品库存。选型时需要确认：通道数量、介质类型、最高转速、接口螺纹、安装法兰尺寸。

典型应用场景

• 半导体 CMP 化学机械抛光设备：多路真空 / 压缩空气同步输送

• 晶圆真空卡盘、旋转工作台气体先导控制单元

• 太阳能电池、燃料电池生产设备

• 食品无菌填充设备、风力发电、钢铁卷曲设备

单端口 MFC1P 系列　

多端口MFC系列