简要描述：RIX 瑞顾克斯MS-5P半导体旋转接头联轴器专为半导体晶圆旋转工作台开发的多通道机械密封式旋转接头。 MS 系列可同时输送真空、压缩空气、超纯水多种介质，在工作台持续旋转工况下，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却纯水多路介质同步供给，适配半导体晶圆冷却平台、真空卡盘设备。MS 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数向 RIX 原厂生产。

RIX 瑞顾克斯MS-5P半导体旋转接头联轴器RIX 瑞顾克斯MS-5P半导体旋转接头联轴器

核心产品特点

1. 多路流体同步输送单一本体集成多个独立流道，可同时输送真空、压缩空气、超纯水，一套接头替代多组单通道旋转接头，大幅缩减主轴内部安装空间，可搭配滑环一体装配。

2. 机械密封结构，可靠性高采用精密机械密封结构，稳定适配纯水、真空、空气混合介质工况，密封性能稳定，维护便捷，相比间隙密封 MFC 系列，成本更优，适配中低转速工况。

3. 洁净材质，满足半导体工艺本体采用 SUS 不锈钢材质，流路适配超纯水，低析出，满足半导体洁净车间使用要求，防止晶圆污染。

4. 法兰一体化安装自带法兰安装结构，安装固定简单，同轴度易保证，适合集成在晶圆旋转工作台内部。

5. 通道数量可灵活定制基础最多支持 5 通道，可根据设备需求调整通道数量、接口孔径与螺纹规格。

详细技术参数

• 密封形式：机械滑动密封

• 适用流体：真空、干燥压缩空气、超纯水

• 压力范围：-0.1MPa ~ 0.6MPa

• 最高转速：850min⁻¹

• 本体材质：SUS 不锈钢

• 通道规格：基础 3 通道，最多可定制至 5 通道

• 安装方式：法兰固定式

• 使用环境：半导体洁净车间

型号说明

MS 为系列母型号，后缀以通道数量区分基础规格：

• MS-3P：3 通道标准款（半导体工作台冷却主流型号，可同时供给真空、空气、冷却水）

• MS-4P：4 通道多介质款

• MS-5P：5 通道多路一体款

完整型号需要叠加接口尺寸、法兰规格等定制参数。选型时需确认：通道数量、介质种类、最高转速、接口螺纹、安装法兰尺寸。

典型应用场景

• 半导体晶圆旋转冷却工作台：冷却水供给

• 晶圆真空卡盘：真空吸附、破真空压缩空气供给

• 半导体研磨、清洗设备旋转工作台流体输送

目的

特征

规格