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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
|---|
该泵通过非接触式输送方式工作。当气体从吸附垫表面的注射孔喷出时，气体的粘性会将工件向上拉起，产生伯努利效应引起的吸附力。低压空气从垫板表面具有仰角的小直径孔注入，当接近工件时，工件被伯努利效应拉起并吸附，由于是非接触式的，因此可以在不损坏工件的情况下运输工件。该泵在任何有100V电源的地方均可使用，并支持非接触式输送。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 代码 | — |
| 名称 | 伯努利泵 |
| 额定电压 | AC 100V (50Hz) |
| 功耗 | 10.0 W |
| 排气压力 | 50 kPa |
| 出流量 | 5.0 L/min |
| 尺寸 | 长137 × 宽88 × 高133 mm |
| 重量 | 1,250 g |
| 耐久性 | 超过 9,000 小时 |
| 工作极限温度 | 40°C |
关于“出院金额"的说明：图片中“出院金额"一栏对应数值为“5.0 L/分钟"，结合上下文判断，此为出流量或吐出流量的参数标注。
配套工具：需与 Klein Bernoulli Jr. 配合使用。
气源要求：使用伯努利卡盘时，需要一台压缩机以及水箱容量为 9升或更大 的调节器。
操作方式：操作部分为小型笔式气阀，可实现笔触感般的轻巧操作。
| 行业 | 具体场景 |
|---|---|
| 半导体制造 | 晶圆（硅片、SiC、GaN）的非接触式拾取与搬运 |
| 化合物半导体 | 薄晶圆、化合物半导体裸芯片的应力减轻搬运 |
| 精密电子 | 陶瓷薄片、微小电子元件的组装与检测 |
| 医疗设备 | 医疗精密器械的组装操作 |
| 食品制造 | 食品制造过程中的微小物品搬运 |
| 光学元件 | 光学玻璃基板、光学薄片的无痕拾取 |
| 需求场景 | 推荐配置 |
|---|---|
| 微小芯片/工件的非接触搬运 | 伯努利泵 + Klein Bernoulli Jr. |
| 需要笔触式轻巧操作的精密工位 | 伯努利泵 + 笔式气阀（C001） |
| 300μm以下超薄晶圆处理 | 伯努利泵 + BC-K/P系列卡盘 |
| 2-12英寸标准晶圆搬运 | 伯努利泵 + 对应尺寸导向环 |
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