FLUORO福乐L系列短款杠杆锁防静电晶圆夹持镊子产品介绍
更新时间：2026-07-29
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导电款L系列晶圆镊子
L系列杠杆锁夹持镊
FLUORO 福乐 L 系列短款杠杆锁晶圆夹持镊，是面向半导体干式无尘车间开发的手动晶圆边缘夹持工具，行业常简称为晶圆夹、晶片镊子，和 C 系列真空吸笔、F 系列湿法真空镊子组成完整晶圆手动搬运方案，广泛用于硅晶圆、化合物半导体晶圆、研磨后超薄晶圆、光学基板的实验室取样、制程中转、外观检验工位。
产品本体采用导电 PEEK（碳纳米管填充）一体成型，无金属铆钉、无粘接胶水，杜绝金属离子析出污染晶圆。导电版本表面电阻稳定维持在防静电区间，可持续泄放静电，保护 CMOS 芯片、Low-K 介质晶圆、光电器件免受静电击穿损伤；标准绝缘 PEEK 款可按需选配。材质本身具备优异耐热性，可耐受最高 130℃连续工况，同时拥有不错的耐有机溶剂性能，适配干法制程环境。
核心亮点为杠杆锁省力结构，依托杠杆力学设计，仅需轻微按压即可夹紧晶圆；扣合锁止机构之后，无需持续握持施力，仅承担晶圆自重，大幅降低长时间操作手部疲劳。夹持端头采用两点式边缘接触设计，仅触碰晶圆侧边，避开晶圆正面功能区域，最大限度减少微粒附着、表面划伤风险；内置晶圆限位挡块，防止夹持时晶圆滑移、崩边。短款机身尺寸紧凑，适合手套箱、小型无尘操作台、机台狭小内部空间作业。
主流型号覆盖全规格晶圆：
E100-150L：6 英寸（150mm）晶圆专用
E100-200L：8 英寸（200mm）晶圆专用
E100-300L：12 英寸（300mm）晶圆专用
💡选型区分：
L 系列杠杆锁夹持镊：机械夹持晶圆边缘，无需外接真空气源，适合间歇性取样、目视检测；
C 系列真空吸笔：负压吸附晶圆表面，适合流水线连续拾取；
F 系列真空吸笔：PTFE 防腐材质，仅限酸碱药液湿法环境使用。
⚠️使用限制：导电 PEEK 材质不耐浓、强剥离药液，不可浸泡在湿法槽体内使用；湿法晶圆转运优先选用 F 系列特氟龙真空吸笔。
适配场景：半导体研发实验室、晶圆封测无尘车间、光学元件组装、光伏晶片检验。可配套桌面放置支架提供整套方案，供应原装全新镊子、提供洁净室使用规范与试样支持。
