FLUOROMechanic M100系列晶圆夹持镊子产品介绍

FLUORO Mechanic M100 系列是日本福乐推出的基础款机械式晶圆夹持镊子，属于无锁直压型晶圆搬运工具，和 L 系列杠杆锁晶圆镊子、C 系列防静电真空吸笔、F 系列防腐真空吸笔共同构成完整半导体手动物料搬运产品线，多用于无尘干式产线、研发实验室，实现硅晶圆、化合物半导体晶圆、光学基板的取样、外观目检、工序中转作业。

镊子主体采用一体式 PEEK 材料成型，整机无金属铆钉、无粘接胶水，从源头规避金属离子析出污染晶圆有源区域。产品线提供两种材质版本可选：标准绝缘 PEEK 款、碳纳米管填充导电防静电 PEEK 款，导电款表面电阻维持在防静电区间，可及时疏导静电，防止 CMOS 器件、Low-K 介质晶圆、光敏光电器件遭受静电击穿损伤。基材耐热性能优异，可承受 130℃连续工况，耐受常规有机溶剂喷淋，适配干燥无尘制程环境。

产品采用两点外缘接触结构，夹持端头仅接触晶圆侧边，避开晶圆正反面功能区域；接触面经过光学级抛光处理，质地柔和，可有效降低晶圆崩边、表面划伤、微粒产生概率；端头内置限位挡块，防止夹持过程中晶圆滑移脱落。基础直压式机械结构，依靠手部持续施加压力保持夹持状态，结构简洁可靠，自重轻便，操作直观上手快，适合短距离、间歇性样品拾取。

主流标准化型号覆盖全尺寸晶圆：M100-100｜适配 4 英寸（100mm）晶圆M100-125｜适配 5 英寸（125mm）晶圆M100-150｜适配 6 英寸（150mm）晶圆M100-200｜适配 8 英寸（200mm）晶圆M100-300｜适配 12 英寸（300mm）晶圆

📌清晰选型区分

⚠️使用注意事项PEEK 材质无法耐受浓、强剥离药液，禁止浸入湿法药液槽内使用，湿法晶圆转运优先选用 F 系列特氟龙真空吸笔。

适配场景：半导体研发实验室、晶圆封测无尘车间、光学元器件组装、光伏晶片外观检验。可配套专用放置支架，提供产品、洁净室操作规范与试样工艺支持，支持新品验证与长期批量供货。