FLUORO福乐FV-W 带缓冲吸附功能真空泵产品介绍

FLUORO 福乐 FV-W 是F007、C007 弹出吹气释放型真空镊子的专属动力主机，属于无油隔膜式双向真空泵，集成负压吸附与可调正压吹气双回路，是半导体无尘车间、研发实验室超薄晶圆、微型芯片无损拾取的配套核心设备，解决薄片物料因静电、液体表面张力发生粘片无法脱落的行业痛点。

整机采用无油隔膜结构，全程不会产生油雾污染，满足 Class100 洁净室使用标准。进、出气端口标配 HEPA 高效过滤器，可拦截 99.97% 粒径≥0.3μm 颗粒物，主机壳体预留透明观察窗，能够直观判断滤芯污染程度，方便规划更换周期，避免管路杂质反向污染晶圆元器件。机身采用密封降噪结构，运转噪音低，适合实验室、小型无尘操作台近距离长时间操作；设备仅需常规 AC100V 供电，无需外接工厂氮气气源，部署灵活，狭小工位、手套箱场景均可轻松放置。

核心双向缓冲释放功能是本机型：常态稳定输出负压，持续吸附晶圆；按下 F007/C007 真空吸笔按键时，主机立刻切断负压，同步输出柔和可控正压气流，依靠缓冲气流消除残余真空吸力，克服静电吸附、湿法工序残留液膜带来的粘片难题，防止超薄晶圆卸料时拉扯造成崩边、划伤、裂片。正压吹气流量支持无级调节，针对不同厚度晶圆、芯片尺寸匹配对应的气流强度，避免气流过大冲飞微小元器件。

产品分为标准款与导电防静电 FV-W 版本，导电款整机形成静电泄放通路，搭配 C 系列 ESD 真空吸笔组成完整干式防静电拾取系统；标准款优先搭配 F 系列 PTFE 湿法真空镊子使用。关键基础参数：额定功耗 5W，极限负压 - 33kPa，吸附流量 2.3L/min，吹气压力区间 0~20kPa 连续可调，整机尺寸紧凑，自重轻便，支持长时间连续不间断运行，隔膜组件寿命可达 9000 小时以上，日常维护工作量低。

📌选型区分指南

⚠️使用注意：不可抽吸酸碱药液、大量水汽，若用于湿法晶圆转运，前端管路必须做好防液体倒灌防护；长期闲置前建议空转吹扫管路，延长隔膜使用寿命。

适配场景：半导体晶圆研发实验室、晶圆封测无尘车间、光学元件组装、MiniLED 芯片检验、湿法蚀刻后超薄晶圆拾取。整套方案包含主机、真空气管、连接接头，可配套各类规格吸嘴、真空吸笔支架同步供货，提供设备操作规范、工艺参数调试支持，支持试样验证与长期批量导入。