EBARA荏原ESR系列水冷多级罗茨干式真空泵产品介绍

更新时间：2026-07-29

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EBARA 荏原 ESR 系列为节能型水冷无油干式罗茨真空泵，主打洁净至中等腐蚀工况，搭载变频调速与智能怠速节能技术，机身紧凑、综合运维成本低，广泛用于半导体刻蚀、PVD、离子注入、Load Lock 腔体，是量产产线通用型工艺干泵。

核心技术优势

全无油干式结构，保障真空洁净度
多级非接触罗茨转子，泵腔无润滑油，杜绝返油、油雾污染，保护晶圆与腔体。洁净工况下无需持续氮气吹扫，降低氮气消耗。
水冷散热，长时间连续运行稳定
整机水冷控温，热负载稳定，适配工厂 7×24 小时不间断量产；分为标准 W 款、防腐 WN 款，WN 机型采用 NiResist 耐蚀合金腔体，搭配多路氮气吹扫，可应对含卤素、水汽的中等腐蚀工艺。
变频可调抽速 + 智能怠速节能
无刷直流电机，转速自适应调节；腔体空载自动进入怠速模式，相比传统工频干泵显著降低耗电，长期运营能耗优势突出。
紧凑型机身，占地更小
同抽速等级体积优于传统机型，适配洁净厂房 Subfab 机房、设备底层安装；低振动、低噪音，满足无尘车间环境要求。
监控与自动化集成
一体式控制器，存储运行日志、故障报警记录；支持模拟 / 数字信号通讯，可对接产线中控系统，具备温度、压差、过载多重保护。产品符合 SEMI-S2、CE 规范。

ESR20N：2000L/min

ESR30N：3000L/min

ESR80WN：8500L/min

ESR100WN：10000L/min

ESR200WN：20000L/min

ESR300WN：30000L/min

ESR500WN：46000L/min

后缀说明：W = 水冷标准型，WN = 水冷防腐耐蚀版本

✅半导体行业：晶圆 Load Lock 传输腔、干法刻蚀、PVD 溅射、等离子灰化、离子注入、小型 CVD 腔体

✅分析检测：SEM、量测设备真空系统

✅光电面板：OLED/LCD 基板预抽、光学薄膜镀膜设备

✅光伏新能源：薄膜沉积、硅片热处理真空工艺

ESR 定位通用型水冷工艺干泵，覆盖洁净～中等腐蚀工况；纯洁净工艺选 W 标准款，含有腐蚀性气体、水汽优先选用 WN 防腐版本。

对比 ESA 系列：ESA 针对氢气等轻质气体深度优化，多用于 MOCVD；ESR 通用性更强，适配刻蚀、溅射、传输腔等绝大多数中段工艺。

本店供应 EBARA 荏原 ESR 系列干式真空泵，区分标准款、防腐 WN 款，可提供成套真空机组方案、样本与性能曲线，支持对公采购与技术选型咨询。