简要描述：现货FLUORO福乐 FV-XP 高流量型无油真空泵该系列泵体结构简单，与同等真空泵相比，在可靠性、寿命和功耗方面均表现优异，本体价格也更具竞争力。

Fluoromechanic（フロロメカニック）是日本专业的真空拾取工具制造商，其小型真空泵系列专为半导体制造、精密电子、医疗设备及食品制造等对洁净度要求严苛的场景开发，作为真空吸笔的配套负压源使用。该系列泵体采用无油隔膜结构，具有紧凑、高真空、长寿命和洁净排气等核心优势。
现货FLUORO福乐 FV-XP 高流量型无油真空泵现货FLUORO福乐 FV-XP 高流量型无油真空泵

核心技术

该系列真空泵的核心在于多级隔膜减压结构。隔膜被安装在密闭空间内，通过多阶段逐级减压，在紧凑的机身中实现高真空压力。驱动方式为电磁驱动，机械磨损和接触极少，几乎无需维护，使用寿命可达隔膜耐久性的理论值。吸气和排气部均装有HEPA过滤器，可在洁净室中使用，且过滤器状态可通过本体透明窗口目视确认，便于掌握更换时机。由于无需压缩机等气源，只需100V电源插座即可在任何场所使用。

完整型号列表

Fluoromechanic小型真空泵的产品阵容包括FV-10、FV-30、FV-60、FV-XP四种基础型号，以及带吸/吐功能的FV-W型号。

参数来源：

各型号详细介绍

FV-10 — 紧凑型可调压真空泵

FV-10是该系列中体积最小、重量最轻的型号（仅600g），采用高声学材料容器收纳，运行噪音极低。其独特之处在于通过磁石与变压器之间的距离旋钮实现压力无级调节（-3～-14 kPa），适用于吸附力需要精细控制的微小工件。排气部配有毛毡过滤器，处理范围从自重落下的物体到相当于4英寸硅晶圆。耐久时间超过9,000小时。

FV-30 — 通用型真空泵

FV-30是系列中的标准通用型号，到达吸引压为-40 kPa，流量2.5 L/min，功耗仅5.0W。尺寸为137×88×85 mm，重量800g，在紧凑体积与真空性能之间取得了良好平衡。配备HEPA过滤器，适用于洁净室环境。

FV-60 — 高真空型真空泵

FV-60是该系列中真空度最高的型号，到达吸引压可达-85 kPa（约-640 mmHg），特别适合需要强吸附力的应用场景。流量2.5 L/min，功耗10.0W，尺寸与FV-XP相同（137×88×133 mm），重量1250g。同样配备HEPA过滤器，适用于高洁净度环境。

FV-XP — 高流量型真空泵

FV-XP是该系列中流量最大的型号，流量达5.0 L/min，到达吸引压为-60 kPa。其高流量特性使其适配多支真空吸笔并联作业，适合需要同时操作多个吸笔的产线场景。功耗10.0W，连续寿命≥8760小时，进出气均配HEPA双过滤。

FV-W — 吸引・吐出型真空泵

FV-W专为需要主动释放工件的场景设计，在真空吸引功能之外，还增加了吹出（吐出）功能，可向工件吹出空气，确保工件在准确的位置快速脱离，避免因残留静电或真空吸附导致工件位置偏移。吐出压力可在0~20 kPa之间无级调节。FV-W特别适合与FLUORO的真空镊子（如F-007和C-007）配套使用，构成完整的真空拾取系统。

半导体与洁净室应用

Fluoromechanic小型真空泵在半导体制造中的核心价值体现在晶圆搬运和精密工件拾取环节。其无油隔膜结构从根本上杜绝了油蒸气对晶圆和光学元件的污染；进出气双HEPA过滤确保排出的气体不会将颗粒物带入洁净环境；电磁驱动的低振动特性避免了因振动导致的工件位移或划伤。

具体应用场景包括：

• 半导体制造工厂：晶圆（硅片、SiC、GaN）的拾取、搬运、上下料

• 化合物半导体：薄晶圆、化合物半导体裸芯片的应力减轻搬运

• 精密电子：陶瓷薄片、微小电子元件的组装与检测

• 医疗设备：医疗精密器械的组装操作

• 食品制造：食品制造过程中的微小物品搬运

• 光学元件：光学玻璃基板、光学薄片的无痕拾取

该系列泵体结构简单，与同等真空泵相比，在可靠性、寿命和功耗方面均表现优异，本体价格也更具竞争力。

选型建议