简要描述：Fuji‑Techno富士技术HYSB系列计量泵半导体
型号最大吐出流量最高工作压力
HYSB‑163.8 L/min14.7 MPa
HYSB‑206.0 L/min11.8 MPa
HYSB‑259.4 L/min7.8 MPa
HYSB‑3015.8 L/min4.9 MPa

一、产品定位

富士技术的核心精密送液设备，依靠凸轮三联柱塞结构，实现稳定无脉动的高精度定量输送。区别于传统隔膜泵、齿轮泵，它可以在压力、粘度变化的工况下保持稳定吐出量，覆盖实验室微量调试到工业化连续量产的全流程流体输送需求。

二、工作原理

三组柱塞依靠特殊凸轮错位交替完成吸液、排液动作，柱塞输出流量相互补偿抵消脉动，瞬时输出流量全程保持恒定。输出流量和电机转速呈线性对应，通过调节转速即可精准改变输送流量，无需额外配置稳压缓冲装置。

三、五大产品系列

1. HYM 微量实验室款流量区间 15.3～217.2 ml/min；机身小巧紧凑。可选用金属泵头，也可配置全非金属 PTFE/PEEK 接液结构，避免金属离子析出；支持水平对置双泵头结构提升流量。适合研发小试、微量试剂配比、高纯腐蚀性药液输送。

2. HYSA 小批量高压款流量 203.6 ml/min～2.3 L/min，最高工作压力 98MPa。结构耐压耐久，可输送带细微颗粒、高粘度介质，适用于中试生产、高压合成、精密涂布工艺。

3. HYSB 中流量量产机型最大流量可达 15.8 L/min，适配长时间不间断连续生产。多用于树脂供料、浆料输送、自动化涂布产线。

4. HYSC 大流量工业机型最高流量 117.8 L/min，面向化工配液、原料输送等大产能工业制程。

5. HYSD 超高压定制机型最高耐压 200MPa，针对超临界流体、新材料研发等高压力特殊工艺定制开发。

四、产品核心优势

1. 计量精度优异，流量重复精度可达 ±0.1%，保证每一批次物料配比一致性

2. 无脉动输出，管路压力平稳，避免气泡、涂膜厚薄不均、配比偏差等问题

3. 介质适配范围广，可输送低粘度溶剂、高粘度树脂、浆料、强酸强碱、高纯化学品

4. 泵头材质灵活定制：不锈钢、哈氏合金、钛合金、全氟树脂无金属结构，满足防腐、高纯制程需求

5. 支持 7×24 小时长时间连续运转，设备使用寿命长，维护简单

6. 流量调节便捷，依靠电机调速即可线性改变输出流量，便于自动化控制

五、应用场景

精细化工、制药连续合成、半导体高纯药液供给、新能源浆料输送、精密涂布点胶、新材料研发、航空液压测试、微反应微量供液。

六、可选配置

伺服驱动、变频电机、夹套温控泵头、双泵头扩容、防爆结构、自动化信号对接等定制方案。
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