半导体 & 工业流体主力泵组｜EBARA 荏原全系列泵产品介绍
更新时间：2026-09-11
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荏原 EBARA 产品线分为两大板块：半导体精密工艺泵（干式真空泵、分子泵、超高洁净磁力泵）、通用工业流体泵（给排水、化工、冷却、污水泵）。近期我司新推出升级了多款规格机型，在晶圆厂、面板、化工、纯水系统大量落地，下面分系列整理，结合一线现场使用经验说明。
一、半导体干式真空泵（Subfab 主力，荏原产品）
无油干式螺杆 / 罗茨干式泵，晶圆刻蚀、CVD、ALD、PVD、LPCVD 工艺排气使用，无油污染风险，带防腐涂层可选。
EV-S 系列：轻制程小型干式泵，风冷、体积紧凑、能耗低；用于 Loadlock、PVD、真空干燥、分析仪器，小流量洁净工艺。
EV-X 系列：中负荷通用款，半导体产线使用量最大，兼顾腐蚀性气体与粉末副产物，模块化结构，维护拆装便捷，8 寸 / 12 寸产线标配。
EV-M 系列：重制程大流量干式泵，处理大量粉尘、可凝性副产物（LPCVD、金属刻蚀），可选配镍合金防腐涂层，大吞吐量产产线。
EST 系列：螺杆式重型干泵，耐高温，针对大量粉体、高腐蚀副产物，适合氮化、氧化等容易析出固体沉积物的工艺。
EV-A 系列小型风冷干泵，即插即用，多用于实验室、镀膜设备、锂电行业。
EV-H 系列新一代大流量机型，强化副产物抑制、搭载故障预判数字化监测，适配先进制程 ALD、高流量沉积工艺。
✅ 优势：干泵真空稳定性好，智能化监测，支持故障预警；模块化维护，全球半导体现场服务网点。⚠️ 痛点：重粉尘工艺下泵腔会沉积副产物，需要定期拆解保养；备件采购周期较长；需要配套尾气处理系统。
二、涡轮分子泵（高真空 / 超高真空 UHV）
用于高真空、分析仪器、镀膜、表面分析设备，获取高洁净高真空环境。
EBT 系列陶瓷轴承分子泵，性价比款，抗冲击，实验室、表面分析、小型镀膜常用；
EMT 系列耐腐蚀分子泵，耐辐射、低振动，适配带腐蚀性气体的工艺；
MK / MK-R 磁悬浮分子泵，无轴承磨损，超长寿命， UHV 超高真空场景。
三、超高洁净化学输送泵（半导体超纯水、药液输送）
洁净磁力泵（超纯水 / 化学品输送）
接液采用 PFA/PTFE、高纯不锈钢，无轴封，零泄漏，输送 18.2MΩ・cm 超纯水、显影液、剥离液、各类酸碱药液，晶圆湿法清洗回路、CMP 供给管路。
代表型号：UCW 系列，无金属析出，低脉动，适配半导体纯水循环。
通用工业离心泵（水处理、冷却水）
CEVMS 立式多级不锈钢离心泵：超纯水预处理、纯水增压、RO 系统增压；
FSC/FSSC 卧式端吸泵：冷却水、空调冷冻水、工业供水；
CB/CN 卧式中开双吸泵：大流量冷却水、水厂供水；
LPDC 立式管道离心泵：暖通、循环水增压。
四、污水 / 潜污泵系列
DLE、DML、DRS 潜污泵，带切割叶轮，工厂废水、雨水、市政污水，防堵塞。ChopX 剪切泵、XR 凹叶轮泵，处理含纤维、固体杂质污水。
五、化工工艺泵（API 化工流程）
API610 标准卧式多级离心泵，高温高压工况，石油化工、精细化工，可输送高温介质，适合重化工项目。
适用场景划分
半导体晶圆厂：EV 系列干式真空泵、EBT 分子泵、UCW 高纯磁力泵（超纯水、药液输送）
面板 / 光伏产线：EV-M、EV-X 干泵，洁净磁力泵
纯水 / 水处理项目：CEVMS 立式多级泵、FSC 卧式端吸泵
化工、石化：API610 高压多级离心泵
实验室、分析设备：EV-A 小型干泵、EBT 涡轮分子泵
选型简单区分
工艺真空、刻蚀沉积排气：EV 系列干式真空泵
超高真空镀膜 / 分析仪器：EBT/MK 涡轮分子泵
超纯水、酸碱药液输送：UCW 高纯磁力泵
纯水增压、冷却循环：CEVMS / FSC 离心泵
污水、含固体废水：DLE、DRS 潜污泵
