简要描述：ULVAC爱发科ES4A干式真空泵节能装置
ES4A 属于 ULVAC ECO-SHOCK 系列中小型多级罗茨干式真空泵节能附属装置，不属于真空泵主机，串联安装于干泵排气管道使用。专为 LR、GR、HR 系列中小型常温罗茨干泵开发，尤其适配镀膜 Load Lock 腔体频繁破空循环抽气工况；真空长期稳定在 1000Pa 以下时实现显著节电，同时抑制泵体温升、平稳排气脉动、降低排气噪音。

一、产品概述

适用介质：空气、氮气、氩气等洁净惰性气体；严禁用于卤素腐蚀气体、大量升华结晶副产物、易燃易爆气体工况。

二、核心产品特点

1. 节能，最高节电 80%

   腔体长期处于低压力稳态运行时，大幅降低真空泵负载功耗；同时减少泵体发热，连带降低车间空调能耗。

   参考实测（60Hz 工况）

• LR60 搭配 ES4A：功耗 2.1kW→0.7kW，节电约 67%

• LR90 搭配 ES4A：功耗 3.6kW→1.0kW，节电约 72%

• LR180 搭配 ES10：功耗 6.6kW→1.6kW，节电约 76%

2. 全程不损失抽气性能

   全压力区间不会降低真空泵有效抽速，不影响腔体抽气节拍、真空工艺稳定性。

3. 附带降噪、稳压效果

   稳定排气气流脉动，同步降低干泵排气噪音，减少管路振动。

4. 安装便捷，改造简单

   串接在真空泵排气管路，无需改动真空泵本体控制程序；自带脚轮，现场管路改造工作量小。

5. 状态监控

   搭载运行指示灯、故障报警输出端子，可对接产线 PLC 自动化系统；整机取得 CE 安全认证。

三、型号适配清单

ES4A（中小型机组适配）

ES10（中大流量机组适配）

四、典型应用场景

1. 光电 / 泛半导体行业：溅射、蒸发镀膜设备 Load Lock 进出料腔体配套 LR/HR 罗茨干泵节能改造；

2. 洁净真空量产线：长期维持中低真空、腔体循环抽气工况；

3. 科研中试平台：中型洁净真空腔体、真空测试系统配套干泵节能升级；

4. 新能源行业：洁净工况真空烘烤、原料脱气真空系统节能改造。

五、选型区分对照

• HR 系列：半导体高温工艺罗茨干泵（主机），适配刻蚀 / CVD 易结晶腐蚀工况

• LR 系列：半导体常温洁净罗茨干泵（主机），晶圆设备 Load Lock 主流选型

• GR 系列：通用工业常温罗茨干泵（主机），面向工业真空干燥、脱泡

• CR 系列：小型风冷罗茨干泵（主机），实验室、小型设备集成

六、可选配套配件