简要描述：ULVAC 爱发科CR16B风冷多级罗茨干式真空泵
特征
排气室为非接触式，不使用油，可实现长时间稳定的排气。
由于不需要冷却水或氮气，因此有助于降低运行成本。
采用直流罐式电机可实现节能、气密性和减轻重量。
气体镇流装置允许排出水蒸气。
适用标准：CE、cTUVus

一、产品概述

二、核心产品特点

1. 无油洁净真空输出

   泵腔内部无润滑油，转子与腔体非接触运转，杜绝油蒸汽返流污染工件，满足小型镀膜、精密样品制备等高洁净真空需求，规避油旋片泵返油问题。

2. 空冷免配套，部署成本低

   整机风冷散热，无需敷设冷却水水路，不需要持续轴封氮气，通电即可运行，适合实验室、小型设备、移动真空平台安装。

3. 轻量化节能设计

   搭载 DC 密封电机，能耗低，整机重量仅 35kg，自带万向脚轮，方便移位布局；内置集成消音器，运行噪音更低。

4. 可选气镇机构，应对水汽工况

   可加装气镇阀，开启后能够抽取少量水蒸气，适合轻度含水汽的真空干燥工序；气镇工况最大水蒸气处理量＜300g/h。

5. 自带监控与远程通讯

   机身配备运行计时表、故障报警指示灯，支持远程启停信号对接，可接入 PLC 自动化控制系统；产品通过 CE、cTUVus 国际安全认证。

三、详细性能参数

四、典型应用场景

1. 科研实验室领域：小型真空腔体、材料热处理炉、真空检漏台、实验室蒸镀设备；

2. 光电镀膜行业：小型溅射、蒸发镀膜设备前级真空抽气；

3. 通用工业真空：小型腔体真空干燥、气体置换、洁净工况真空脱泡；

4. 分析仪器配套：各类理化分析设备、小型真空测试平台前级泵。

五、选型区分对照

• CR16B：小型风冷罗茨干泵，免水冷、体积小巧，洁净轻度水汽工况；不适合腐蚀气体、大量粉尘工艺；

• GR60A：中型水冷通用罗茨干泵，抽速更大，适合中型腔体频繁抽气；

• HR60：半导体高温工艺罗茨泵，带腔体加热防结晶，适配刻蚀、CVD 腐蚀工艺；

• LS/MS 螺杆系列：螺杆结构，和罗茨泵结构不同，适合中大型产线工况。

六、可选配套配件