EBARA荏原EV-SA系列为风冷式多级罗茨无油干泵，依托非接触转子结构，无需冷却水配套，提供高洁净真空环境，主打低能耗、低振动、长周期免维护，广泛用于半导体LoadLock腔体、分析仪器、科研实验室、小型镀膜设备，是中大流量洁净真级泵优选方案。产品核心优势全无油干式结构，杜绝工艺污染泵腔内部无润滑油，无返油、油雾析出问题，保障腔体、样品不受碳氢污染物干扰，满足半导体、精密分析仪器等高洁净制程需求。搭载气镇功能，具备优秀水蒸气抽取能力，适配含水汽抽气工况。一体式风冷设计，部署...

EBARA荏原EV-PA系列为无油干式真空泵，采用风冷结构，无需水冷，整机无油设计，真空洁净度高，运行稳定、免维护，广泛配套分析仪器、半导体设备、实验室真空系统、检漏设备等，是中小流量洁净真空场景通用型前级真空泵。产品核心特点1.全无油干式结构，泵腔无润滑油，无油烟、无返油，提供高洁净真空，杜绝样品、腔体污染，适配精密仪器洁净工况。2.风冷一体式设计，无需外接冷却水，接线即可使用，安装简单，适配设备内嵌、台式摆放、移动式使用。3.转子非接触结构，无磨损配件，无需定期换油、更换...

干式真空泵是一类泵腔内无油无水、依靠机械转子改变腔体容积实现抽气的洁净型真空泵，全程无油润滑介质，可避免油蒸气污染被抽系统，是当前制造领域替代传统油封泵的主流设备。干式真空泵它的主流类型及运行逻辑如下：‌干式螺杆真空泵‌：一对阴阳螺杆在泵壳内同步反向旋转，气体沿轴向被推送压缩，适配宽压力范围工况。‌爪式真空泵‌：多级爪型转子串联布置，逐级压缩气体，能效表现优异，整机结构紧凑。‌无油涡旋真空泵‌：依靠涡旋盘的偏心运动完成气体的吸入、压缩与排出，运行噪音低，可获得高洁净真空环境。...