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FLUORO 福乐真空吸笔 工作原理

更新时间:2026-10-17

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福乐真空吸笔本身不产生真空,属于手动控制阀式拾取工具,需要外接 FV 系列干式真空泵作为负压气源,依靠气压负压实现工件吸附搬运。

基础吸附原理

外接真空泵持续提供稳定负压(‑20~‑80kPa),负压经由软管通入吸笔笔身内部气路;前端吸嘴端面贴合工件平整表面之后,吸嘴与工件之间形成密闭腔;腔内空气被抽走形成负压,外界大气压就把工件压紧在吸嘴端面,以此完成拾取转运;移放到目标位置后切断负压,大气压恢复,工件即可释放脱落。

笔身内置阀芯阀门逻辑(分三种阀体类型)

1、常闭 NC(C001/F001):按压吸附,松开放开待机状态内部气路关闭,负压无法到达吸嘴;用手按下笔身上的按键,内部弹簧‑阀芯位移,气路导通,产生吸力吸住工件;松开按键,阀芯弹簧复位直接切断真空,工件直接释放。适合间歇点取作业。

2、常开 NO(C002/F002):常态一直通真空管路接上真空泵之后,前端吸嘴常态持续带有负压;吸嘴压住工件直接就吸住;笔上按键是释放泄压按键;按下按键气路通大气泄压,工件释放;松开又恢复吸附。适合需要长时间保持吸附、来回搬运晶圆薄片工况。

3、吹气释放款 NO+Blow(C007/F007):负压吸附,正压吹气卸料属于双气路结构,真空泵同时提供负压与一路洁净正压;松开按键:通路切至负压,吸附工件;按下按键:立刻切断负压,切换输出一小股柔和正压吹气,主动把工件吹离吸嘴;专门解决超薄晶圆、芯片因为静电吸附粘在吸嘴拿不下来,防止薄片崩边裂片问题。

模块化结构辅助原理

前端吸嘴、可选 X 万向旋转接头属于气路延伸部件;万向接头在保持真空通路连通的前提下,可以 360° 转动;握持笔身不动,吸嘴角度自由偏转,适应花篮、槽内狭小位置取料;整套前端组件可拆,吸嘴为消耗件,单独更换,不用更换笔身阀体本体。

防静电的辅助原理(C 系列)

笔身本体采用导电 / 耗散树脂材质,吸嘴选用导电 PEEK / 导电硅胶;工件‑吸嘴‑笔身‑管路形成泄放通路,把晶圆、芯片表面静电荷导出,规避静电击穿 ESD 损伤风险。F 系列 PTFE 湿法款依靠配套接地配件实现防静电效果。


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