EBARA荏原ESA系列为水冷式无油干式罗茨真空泵，专为大流量工况、氢气等轻质气体抽气优化，是半导体MO-CVD外延、LED、光伏、大型真空腔体量产产线主力干泵，支持7×24小时连续工艺运行，兼顾耐腐蚀、高负载、智能节能特性。核心技术优势全无油干式结构，保障工艺洁净度多级罗茨非接触转子结构，泵腔无润滑油，杜绝油雾返流污染腔体与晶圆，满足半导体洁净制程要求。标配可控氮气吹扫系统，适配连续工艺排气工况。轻气体优异抽气性能，MO‑CVD机型针对氢气、氦气等轻质气体优化压缩结构，氢气...

EBARA荏原EMT、EBT系列为复合式涡轮分子泵，是实现高真空、超高真空工况核心主抽泵。EMT为磁悬浮轴承型，EBT为陶瓷滚珠轴承型，覆盖宽广抽速区间，支持空冷/水冷、控制器一体/分离多种配置，广泛配套半导体设备、分析仪器、镀膜设备，适配洁净超高真空制程。产品核心特点两种轴承方案灵活选型EMT磁悬浮轴承：无机械接触、振动极低、使用寿命长，适合对震动敏感、长期不间断运行、超高真空精密工况；EBT陶瓷滚珠轴承：结构坚固、性价比高，耐受突发大气冲击，适配移动式真空平台、常规科研与...

EBARA荏原EV-A10为风冷多级罗茨干式真空泵，主打大气区间高效抽气，无需冷却水，全无油洁净真空，适配频繁破真空、反复大气抽放工况，是半导体LoadLock、分析仪器、锂电设备、实验室中大流量洁净真级泵优选。核心技术优势全无油干式结构，真空洁净无污染采用非接触多级罗茨转子设计，泵腔内部无需润滑油，杜绝返油、油雾污染，保护腔体、样品不被碳氢杂质影响，满足精密制程洁净要求。标配气镇阀，最大可处理500g/h水蒸气，适配含水汽抽气工况。一体式风冷设计，安装部署简单整机空气冷却，...

EBARA荏原EV-SA系列为风冷式多级罗茨无油干泵，依托非接触转子结构，无需冷却水配套，提供高洁净真空环境，主打低能耗、低振动、长周期免维护，广泛用于半导体LoadLock腔体、分析仪器、科研实验室、小型镀膜设备，是中大流量洁净真级泵优选方案。产品核心优势全无油干式结构，杜绝工艺污染泵腔内部无润滑油，无返油、油雾析出问题，保障腔体、样品不受碳氢污染物干扰，满足半导体、精密分析仪器等高洁净制程需求。搭载气镇功能，具备优秀水蒸气抽取能力，适配含水汽抽气工况。一体式风冷设计，部署...

EBARA荏原EV-PA系列为无油干式真空泵，采用风冷结构，无需水冷，整机无油设计，真空洁净度高，运行稳定、免维护，广泛配套分析仪器、半导体设备、实验室真空系统、检漏设备等，是中小流量洁净真空场景通用型前级真空泵。产品核心特点1.全无油干式结构，泵腔无润滑油，无油烟、无返油，提供高洁净真空，杜绝样品、腔体污染，适配精密仪器洁净工况。2.风冷一体式设计，无需外接冷却水，接线即可使用，安装简单，适配设备内嵌、台式摆放、移动式使用。3.转子非接触结构，无磨损配件，无需定期换油、更换...

干式真空泵是一类泵腔内无油无水、依靠机械转子改变腔体容积实现抽气的洁净型真空泵，全程无油润滑介质，可避免油蒸气污染被抽系统，是当前制造领域替代传统油封泵的主流设备。干式真空泵它的主流类型及运行逻辑如下：‌干式螺杆真空泵‌：一对阴阳螺杆在泵壳内同步反向旋转，气体沿轴向被推送压缩，适配宽压力范围工况。‌爪式真空泵‌：多级爪型转子串联布置，逐级压缩气体，能效表现优异，整机结构紧凑。‌无油涡旋真空泵‌：依靠涡旋盘的偏心运动完成气体的吸入、压缩与排出，运行噪音低，可获得高洁净真空环境。...