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D507-厂商性质
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HORIBA 堀场 D507 耐腐蚀大流量质量流量计耐腐蚀强化型压差式 MFC，面向大流量、强腐蚀性工艺气体工况。压差层流测量架构，摒弃热丝传感，压力波动对流量输出干扰小。关键接液部件升级镍‑钴合金材质，耐 HF、F₂等强腐蚀气体。支持 MG 多气体功能，通讯端在线切换气体种类与满量程参数。内置 G‑LIFE 快速自诊断，可检测阀座泄漏、传感器漂移。压电金属隔膜阀，全阶稳定时间≤0.8s。
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D522MG-厂商性质
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63产品描述
HORIBA 堀场 D522MG 中大流量质量流量计面向中大流量工艺气路，压差层流测量架构，不受供气压力波动干扰。搭载 MG 多气体功能，通讯总线可在线切换气体种类、修改满量程参数，无需拆回设备校准。内置 G‑LIFE 快速自诊断功能，可检测阀座泄漏、传感器漂移异常。压电金属隔膜阀，全阶稳定时间≤0.8s，耐压能力强。接液部件超净电解抛光，适配中大流量高纯、腐蚀性工艺气体。
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D512MG-厂商性质
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81产品描述
HORIBA 堀场 D512MG 中流量质量流量计压差式 MFC，为该系列中小流量主力量产机型，采用压差层流测量架构，不受供气压力波动干扰。搭载 MG 多气体功能，通讯端可在线切换气体种类、修改满量程参数，无需拆回设备校准。内置 G‑LIFE 快速自诊断，可检测阀座泄漏、传感器漂移异常。压电金属隔膜阀，流路死体积小，全阶稳定时间≤0.8s。接液部件超净电解抛光，适配高纯、腐蚀性工艺气体。
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D511MG-厂商性质
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50产品描述
HORIBA 堀场D511MG微流量质量流量计面向小流量、微量气体供给场景。采用压差层流测量原理，不受供气压力波动干扰，搭载 MG 多气体功能，通讯端可在线切换气体种类与满量程参数，无需拆回设备校准。内置 G‑LIFE 自诊断功能，可检测阀座泄漏、传感器漂移。压电金属隔膜阀，流路死体积小，响应快。接液部件超净电解抛光，适配高纯与腐蚀性工艺气体。机械安装尺寸可被 D700uF 直接替换，VCR 接头
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D500-厂商性质
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107产品描述
HORIBA 堀场 D500系列质量流量模块流量计子型号：D511MG、D512MG、D522MG、D507；压差压力式测量架构，压电阀驱动，多气体多量程，带 G‑LIFE 内置自诊断，D700 系列前代主力机型，VCR 接头属于选配配件。
