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SEC‑Z742MGX-厂商性质
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HORIBA堀场SEC‑Z742MGX质量流量模块流量计大流量热式 MFC，内置 PI 压力补偿功能，抵消供气压力波动造成的流量偏移。搭载 MG 多气体功能，通讯端口在线切换气体种类与满量程参数，无需拆回设备校准。压电阀闭环控制，全区间响应≤1s，机身自带显示窗口，现场可查看流量、压力、设备运行状态。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet，主要用于存量设备大流量通道改造替换。
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SEC‑Z732MGX-厂商性质
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74产品描述
HORIBA堀场SEC‑Z732MGX质量流量模块流量计中大流量热式 MFC，内置 PI 压力补偿功能，可抵消供气压力波动带来的流量偏移。具备 MG 多气体功能，通讯端在线切换气体种类以及满量程参数，无需拆回设备校准。压电阀驱动，全区间响应≤1s，机身自带显示窗口，现场可查看流量、压力、设备运行状态。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet，多用于存量设备改造。
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SEC‑Z722MGX-厂商性质
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70产品描述
HORIBA堀场SEC‑Z722MGX质量流量模块流量计中流量主力热式 MFC，内置 PI 压力补偿功能，抵消供气压力波动造成的流量偏移。搭载 MG 多气体功能，通讯端口可在线切换气体种类与满量程参数，无需拆回设备校准。压电阀驱动，全区间响应≤1s，机身自带显示窗口，现场可直观查看流量、压力与运行状态。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet，多用于存量半导体设备改造替换。
产品型号
SEC‑Z712MGX-厂商性质
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77产品描述
HORIBA堀场SEC‑Z712MGX质量流量模块流量计热式压力补偿 MFC，内置 PI 压力补偿功能，可抵消供气压力波动带来的流量偏移。支持多气体、多量程在线切换，无需拆回设备校准。压电阀驱动，全区间响应≤1s，机身自带状态显示窗口，便于现场查看工况。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet，主打存量设备改造场景。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配高纯及腐蚀性工艺气体
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SEC‑Z700X -系列厂商性质
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80产品描述
HORIBA堀场SEC‑Z700X质量流量模块子型号：SEC‑Z712MGX、SEC‑Z722MGX、SEC‑Z732MGX、SEC‑Z742MGX；分为模拟 / RS485 版本、DeviceNet 版本；热式测量 + 内置压力补偿 PI 功能，面向存量半导体设备改造，VCR 接头属于选配配件。
