简要描述：HORIBA堀场SEC‑Z712MGX质量流量模块流量计热式压力补偿 MFC，内置 PI 压力补偿功能，可抵消供气压力波动带来的流量偏移。支持多气体、多量程在线切换，无需拆回设备校准。压电阀驱动，全区间响应≤1s，机身自带状态显示窗口，便于现场查看工况。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet，主打存量设备改造场景。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配高纯及腐蚀性工艺气体

产品简介

SEC‑Z700X 系列为压力不敏感热式 MFC，内置压力传感检测，依靠压力补偿算法抵消上下游压力波动带来的流量偏移，气路可省去外部调压、测压元件，简化气盘设计。具备多气体、多量程在线切换功能，无需拆回设备校准。搭载可变 PID 控制算法，全流量区间响应≤1s；机身自带显示窗口，现场直接读取流量、压力、运行状态。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配高纯、腐蚀性工艺气体。50SLM 以内机型安装尺寸统一，适配老设备替换改造。

产品特点

1. PI 压力补偿架构，自带压力检测，供气压力波动工况流量输出稳定，减少气路零部件。

2. 热式传感测量技术成熟稳定，多气体多量程在线切换，产线不拆卸模块即可修改气体、满量程规格，降低备件库存。

3. 可变 PID 算法，全区间响应时间≤1s，流量切换速度稳定；控制区间 2‑100% FS。

4. 本体自带多状态显示窗口，现场直观查看流量、压力、运行状态，方便现场排查维护。

5. 精度 5‑100% FS 可达 ±1.0% SP，满足半导体量产工艺控制需求。

6. 信号接口丰富，支持模拟量、RS485、DeviceNet，适配大量存量老旧半导体设备改造升级。

7. 接液部件超净电解抛光，氦检漏等级高，微粒析出少，适配半导体超净气路。

各子型号区分

SEC‑Z712MGX

微小型流量规格，覆盖小流量区间，适配微量气体供给，模拟 / RS485 信号。

SEC‑Z722MGX

中小流量主力通用机型，刻蚀、薄膜沉积通用量产工况。

SEC‑Z732MGX

中流量规格，载气配比、工艺供气主流选用。

SEC‑Z742MGX

中大流量机型，覆盖吹扫、大流量工艺气路。

另有 DeviceNet 通讯后缀型号 Z714MGX/Z724MGX/Z734MGX/Z743MGX，硬件流路一致，通讯协议不同。

通用技术参数

型号：SEC‑Z700X 系列测量原理：热式，内置 PI 压力补偿控制区间：2‑100% FS接液材质：SUS316L EP 电解抛光、钴镍合金阀结构：压电常闭阀通讯：模拟 0‑5V、RS‑485、DeviceNet 可选供电：24VDC耐压：1000kPa (G)；氦检漏≤5×10⁻¹²Pa・m³/s全区间响应时间：≤1s工作环境：15‑45℃，20‑80% RH 无凝露存储温度：0‑80℃状态记录：阀门动作计数、压力温度极值、超长、总运行时长、累计流量

应用场景

半导体干法刻蚀、CVD 薄膜沉积、扩散工艺；MEMS 器件制造；光伏工艺；科研气体配比；存量半导体设备改造升级。
HORIBA堀场SEC‑Z712MGX质量流量模块流量计HORIBA堀场SEC‑Z712MGX质量流量模块流量计

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