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  • True‑L‑Motion‑HV‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀
    True‑L‑Motion‑HV‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀

    产品型号

    True‑L‑Motion‑H

    厂商性质

    经销商

    更新时间

    2026-08-27

    浏览次数

    81

    产品描述

    V‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀True‑L‑Motion‑H 是 True‑L‑Motion 系列带阀体加热的电动狭缝传输门阀,专为 12 英寸 300mm 晶圆设备开发,集合纯 L 直线运动低发尘与阀体高温加热两大特性,针对工艺副产物冷凝沉积问题,多用于刻蚀、去胶、ALD 等易产生聚合物的优良半导体制程。
  • True‑L‑Motion-V‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀
    True‑L‑Motion-V‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀

    产品型号

    True‑L‑Motion-

    厂商性质

    经销商

    更新时间

    2026-08-27

    浏览次数

    95

    产品描述

    V‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀True‑L‑Motion(真 L 运动)是 V‑TEX 新一代电动狭缝传输闸阀(Slit Valve),区别于传统 Rollcam 凸轮旋转摆动轨迹,阀板执行**纯 L 型直角运动**:先水平退离密封面,再垂直升降,全程无旋转摆动,面向优良 12 英寸半导体工艺,主打更低振动、更低发尘、密封件可控压缩量。
  • Rollcam‑HV‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀
    Rollcam‑HV‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀

    产品型号

    Rollcam‑H

    厂商性质

    经销商

    更新时间

    2026-08-27

    浏览次数

    106

    产品描述

    V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam‑H 为 Rollcam 系列带阀体加热功能的狭缝传输闸阀(Slit Valve),分为 Rollcam‑200‑H(8 英寸)、Rollcam‑300‑H(12 英寸)两个主流规格,专门针对会产生冷凝副产物的半导体工艺,通过阀体控温避免反应物沉积粘附阀门,维持门阀流通与密封性能。
  • Rollcam‑300V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀
    Rollcam‑300V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀

    产品型号

    Rollcam‑300

    厂商性质

    经销商

    更新时间

    2026-08-27

    浏览次数

    64

    产品描述

    V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam‑300 属于 Rollcam 系列 12 英寸晶圆专用狭缝传输闸阀(Slit Valve),广泛用于 12 寸半导体设备负载锁、传输腔、工艺腔之间,完成真空隔离与晶圆传送,采用凸轮滚柱驱动结构,启闭低发尘,是 300mm 晶圆设备主流门阀部件。
  • - Rollcam‑200V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀
    - Rollcam‑200V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀

    产品型号

    - Rollcam‑200

    厂商性质

    经销商

    更新时间

    2026-08-27

    浏览次数

    96

    产品描述

    V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam‑200 为 V‑TEX Rollcam 系列 8 英寸晶圆专用传输狭缝闸阀(Slit Valve),主要用于 8 寸半导体设备负载锁、传输腔与工艺腔之间真空隔离、晶圆传送,依靠凸轮滚柱驱动结构,实现低发尘启闭动作。
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