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产品型号
True‑L‑Motion‑H -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-08-27 -
浏览次数
81
产品描述
V‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀True‑L‑Motion‑H 是 True‑L‑Motion 系列带阀体加热的电动狭缝传输门阀,专为 12 英寸 300mm 晶圆设备开发,集合纯 L 直线运动低发尘与阀体高温加热两大特性,针对工艺副产物冷凝沉积问题,多用于刻蚀、去胶、ALD 等易产生聚合物的优良半导体制程。
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