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产品型号
Rollcam闸阀 -
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更新时间
2026-08-27 -
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产品描述
V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam 属于矩形窗口式狭缝真空闸阀(Slit Valve),是 V‑TEX 核心产品,多用于半导体设备腔体之间晶圆传送隔离,依靠凸轮滚柱复合动作,解决普通门阀开关摩擦发尘问题,是 8 英寸、12 英寸晶圆设备负载锁、传输腔主流配置。
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GAR‑N400BMIYUKI厂商性质
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2026-08-20浏览次数
75产品描述
美幸辉日本伺服控制闸阀阀 GAR‑N400BMIYUKI 型号:GAR‑N400B$n法兰规格:ISO‑NW 标准法兰$n公称口径:400A$n产品系列:GAR 系列伺服控制闸阀$n工作压力范围:10⁵Pa~10⁻⁶Pa$n内部密封泄漏量:≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s$n轴封外部泄漏量:≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s$n接气材质:SUS304 不锈钢
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2026-08-08浏览次数
74产品描述
日本伺服控制闸阀 GAR‑N350BMIYUKI 美幸辉搭载电磁抱闸断电锁止机构,支持 0‑100% 伺服连续开度调节。阀体采用 SUS304 抛光材质,低放气,泄漏指标优秀,NW 快拆法兰拆装维护便捷。闸板抬升后脱离流道区域,大通流性能突出,搭配专用控制器完成闭环调节,适配超大口径高真空腔体,实现排气节流与压力稳定控制,适用于半导体、大型镀膜及大型科研真空设备。
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2026-08-08浏览次数
78产品描述
日本伺服控制闸阀 GAR‑N300BMIYUKI 美幸辉搭载电磁抱闸断电锁止机构,支持 0‑100% 伺服连续开度调节。阀体采用 SUS304 抛光材质,低放气,泄漏指标优秀,NW 快拆法兰拆装维护便捷。闸板抬升后脱离流道区域,大通流性能突出,搭配专用控制器完成闭环调节,适配超大口径高真空腔体,实现排气节流与压力稳定控制,适用于半导体、大型镀膜及大型科研真空设备。
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2026-08-08浏览次数
64产品描述
日本伺服控制闸阀 GAR‑N250BMIYUKI 美幸辉搭载电磁抱闸断电锁止机构,支持 0‑100% 伺服连续开度调节。阀体采用 SUS304 抛光材质,低放气,泄漏指标优秀,NW 快拆法兰拆装维护便捷。闸板抬升后脱离流道区域,大通流性能突出,搭配专用控制器实现闭环调节,适配大口径高真空腔体,完成排气节流与压力稳定控制,适用于半导体、镀膜及大型科研真空设备。