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产品型号
3PV‑160A -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-08-27 -
浏览次数
106
产品描述
日本V‑TEX 3PV三位钟摆摆阀半导体真空阀门3PV‑160A 属于 Penduroll 系列三位式气动钟摆真空摆阀,法兰规格 JIS‑A DN160,具备全关‑中间节流‑全开三档机械定位,集腔体隔离、固定节流调压于一体,多用于半导体工艺腔体排气管路,装配在工艺腔与真空泵之间。
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产品型号
In‑Vale‑H厂商性质
经销商更新时间
2026-08-27浏览次数
86产品描述
日本V‑TEX In‑Vale 侵入式闸阀- 主流口径:DN65、DN80、DN100、DN150、DN200 - 驱动形式:气动 - 工作气源:0.45‑0.55MPa - 工作真空:大气压~1×10⁻⁷Pa - 阀体加热温度:最高 150℃;气缸部位≤60℃ - 法兰规格:ISO‑F 大口径真空法兰 - 输出信号:开 / 关到位磁性信号、阀体温度信号 - 密封配置:FKM 标准,可选 FFKM
产品型号
In‑Vale-厂商性质
经销商更新时间
2026-08-27浏览次数
88产品描述
日本V‑TEX In‑Vale 侵入式闸阀- 主流口径:DN65、DN80、DN100、DN150、DN200 - 驱动:气动 - 气源压力:0.45‑0.55MPa - 工作真空:大气压~1×10⁻⁷Pa - 法兰:ISO‑F 标准大口径法兰 - 信号:磁性开关输出阀门开 / 关到位信号 - 密封:FKM 标准,可选 FFKM 全氟醚橡胶
产品型号
Small‑Rollcam‑H厂商性质
经销商更新时间
2026-08-27浏览次数
76产品描述
日本V‑TEX 小型 Rollcam 滚凸轮狭缝闸阀小型Small‑Rollcam‑H 属于小型滚凸轮系列带阀体加热的 Slit Valve 狭缝闸阀,继承 Rollcam 凸轮低发尘结构,机身紧凑,集成阀体加热功能,专门用于 4 英寸、6 英寸小晶圆设备,解决工艺副产物冷凝沉积问题,多用于小型刻蚀、去胶、预处理腔体。
产品型号
Small‑Rollcam厂商性质
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97产品描述
日本V‑TEX 小型 Rollcam 滚凸轮狭缝闸阀小型 Rollcam 滚凸轮闸阀(Small‑Rollcam),是 V‑TEX 针对小基板、紧凑型设备开发的迷你版凸轮式 Slit Valve 狭缝门阀,继承经典 Rollcam 凸轮机构,整机体积大幅缩小,节省设备内部安装空间,多用于小尺寸晶圆、碎片检测设备、小型预处理腔体、实验室真空装置株式会社ブ...