简要描述：日本V‑TEX 小型 Rollcam 滚凸轮狭缝闸阀小型Small‑Rollcam‑H 属于小型滚凸轮系列带阀体加热的 Slit Valve 狭缝闸阀，继承 Rollcam 凸轮低发尘结构，机身紧凑，集成阀体加热功能，专门用于 4 英寸、6 英寸小晶圆设备，解决工艺副产物冷凝沉积问题，多用于小型刻蚀、去胶、预处理腔体。

V‑TEX 为日本专业超高真空阀门制造厂商，产品主打低发尘、低振动、高密封性能，面向半导体、面板等高洁净真空工艺场景，依靠 Rollcam 凸轮结构，减少阀门动作过程的颗粒产生，适配高要求的真空腔体隔离、排气、压力调节工况。
日本V‑TEX 小型 Rollcam 滚凸轮狭缝闸阀日本V‑TEX 小型 Rollcam 滚凸轮狭缝闸阀

核心产品特点

1. Rollcam 凸轮机构凸轮驱动结构，阀门开关动作平滑，冲击震动小，有效降低动作时颗粒脱落发尘，满足半导体洁净工艺环境，减少晶圆被微粒污染风险。

2. 超高真空密封性能阀体采用不锈钢材质，标准密封件 FKM，腐蚀工况可选用 FFKM 全氟醚橡胶；整机氦检漏严格，阀体本体漏率可达 4×10⁻¹¹Pa・m³/s 级别，可稳定工作至 10⁻⁷Pa 超高真空区间。

3. 长循环使用寿命标准口径产品可达 50 万次开关循环，大口径 300‑400mm 规格可达 30 万次，降低设备维护频次，适配 24 小时连续生产设备。

4. 多种驱动形式主流为气动驱动，气源 0.45‑0.55MPa；部分型号支持电动驱动，可接入设备控制系统；部分摆阀可搭配控制器实现真空闭环调压。

5. 丰富结构选型覆盖矩形传输门阀、圆形摆阀、直动插板闸阀、小型角阀；包含纯隔离通断款、中间开度节流款、闭环压力控制智能阀，适配腔体隔离、泵组排气、工艺腔压力微调等不同用途。

主要产品系列

1. Slit Valve 矩形传输门阀（Rollcam 系列）

用于晶圆腔体之间物料传输，真空‑真空、真空‑大气隔离，8 寸、12 寸晶圆设备主流配置。

• 类型：标准 Rollcam、Twin‑Rollcam、大尺寸 Multi‑Rollcam

• 驱动：气动，部分电动闭环版本

• 应用：刻蚀、PVD、CVD、ALD 设备腔体传送口、真空负载锁腔隔离

2. GV 直动插板闸阀

纯隔离阀，仅全开 / 全关，无节流；闸板退出流道，流导大。

• 口径 DN50‑DN400，法兰 ISO‑F

• 驱动：气动、电动可选

• 应用：管式炉、退火炉、真空烤箱、键合机主腔体隔断

3. Penduroll 摆阀系列（泵口排气阀）

IPV 摆阀：单位置，全开全关，泵与腔体之间通断隔离

3PV 三位摆阀：全关‑中间开度‑全开，可机械限位，实现基础节流

APC 智能摆阀：搭配控制器，0‑100% 开度连续闭环调节，外接真空规实现腔体恒压控制

• 口径 DN40‑DN400

• 应用：分子泵、干式泵排气端；溅射、刻蚀腔体工艺压力精准调控

4. AV 小型直角角阀

小口径 NW16/NW25/NW40，小型气路、取样管路隔离，结构紧凑，微型气动驱动。

• 应用：设备支路、真空规管路、小型预处理腔体通断

通用技术参数

• 工作压力：大气压～1×10⁻⁷Pa

• 阀体材质：SUS304 不锈钢；阀板铝合金 / 不锈钢

• 标准密封：FKM；腐蚀工艺选 FFKM

• 允许温度：阀体最高 150℃，驱动单元≤90℃

• 驱动气源压力：气动款 0.45‑0.55MPa

• 法兰规格：ISO‑F、NW/KF 多种标准可选

典型应用领域

半导体刻蚀、溅射 PVD、化学气相沉积 CVD、原子层沉积 ALD、离子注入；OLED、FPD 面板真空设备；真空热处理炉；科研同步辐射装置；电子元器件真空封装设备。

使用注意事项

1. 传输门阀需注意晶圆干涉，设备集成时确认阀门开启行程，避免和晶圆、机械手发生碰撞。

2. 工艺含有腐蚀性气体时，密封件务必选用 FFKM 全氟醚橡胶版本。

3. APC 闭环摆阀必须配套专用控制器与真空规，无法直接单独实现调压。

4. 定期检查 O 型圈密封状态，颗粒多的工艺工况，适当缩短维护周期。

5. 阀门内部零件不允许现场拆解，拆解会破坏真空漏率性能。