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现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫

简要描述:现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫杯垫是吸附面积较大的末端部件,适用于晶圆、玻璃基板等大面积平面工件的吸附搬运。一支吸笔通过更换不同尺寸的杯垫即可适配多种尺寸工件。

基础信息

产品型号

深圳直发

厂商性质

经销商

更新时间

2026-10-08

浏览次数

26
详细介绍
品牌FLUORO/日本福乐

FLUORO福乐(Fluoromechanic Co., Ltd.)总部位于日本东京都江户川区,是专业的半导体晶圆搬运工具制造商,专注于真空吸笔、真空泵、吸嘴吸盘等精密工具的开发、制造与销售。杯垫与狭缝吸嘴是真空吸笔系统的重要末端执行部件,通过模块化设计,一支吸笔可适配多种尺寸和类型的工件。
现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫

杯垫

代码姓名材料尺寸 ΦB(外径)绘画
2.53.03.55.08.0111520二十五30
41硅胶橡胶垫硅橡胶现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫


详细信息
(X 为外径)
42氟橡胶垫氟橡胶
Viton®
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43导电硅胶垫硅橡胶+碳现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫


44导电氟垫氟橡胶 + 碳
导电 Viton 橡胶 Viton®
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45特氟龙垫特氟龙现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫
47复合曲面吸盘透明硅橡胶

现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫







狭缝吸嘴(端面吸嘴)

代码姓名材料L码(长度)绘画
3.04.56.07.0
513F 端面吸嘴
*售完即止
3F现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫现货库存FLUORO福乐 43 导电硅胶垫吸垫细节
55导电PEEK端面吸嘴
*售完即止
纳米碳PEEK
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一、杯垫(Pad)系列

杯垫是吸附面积较大的末端部件,适用于晶圆、玻璃基板等大面积平面工件的吸附搬运。一支吸笔通过更换不同尺寸的杯垫即可适配多种尺寸工件。

杯垫的外径尺寸覆盖 φ2.5mm 至 φ30mm,提供6种材质选择:

代码名称材质外径尺寸(φB)核心特点
41硅胶橡胶垫硅橡胶2.5, 3.0, 3.5, 5.0, 8.0, 11, 15柔软有弹性,吸附力强,不刮伤工件
42氟橡胶垫氟橡胶(Viton®)2.5, 3.0, 3.5, 5.0, 8.0, 11, 15耐化学腐蚀,耐高温
43导电硅胶垫硅橡胶 + 碳2.5, 3.0, 3.5, 5.0, 8.0, 11, 15防静电,适用于ESD敏感工件
44导电氟垫导电Viton橡胶 + 碳2.5, 3.0, 3.5, 5.0, 8.0, 11兼具导电性和耐化学性
45特氟龙垫特氟龙(PTFE)2.5, 3.0, 3.5, 5.0, 8.0, 11, 15, 20, 25, 30耐强酸强碱,低析出,湿法工艺
47复合曲面吸盘透明硅橡胶3.5, 5.0, 8.0, 11, 15曲面设计,适配异形工件或曲面吸附

材质选择要点:

  • 干式无尘环境:可选硅胶(41) 或导电硅胶(43)

  • 湿法酸蚀环境:需选特氟龙(45) 或氟橡胶(42)

  • ESD敏感工件:需选导电材质(43/44)

  • 曲面/异形工件:选复合曲面吸盘(47)

半导体应用: 福乐杯垫采用高纯PTFE、导电PEEK等材质一体成型,生产过程不添加增塑剂与填充料,在高温或接触光刻胶、酸碱蚀刻液时几乎不释放微粒与有机污染物。配套吸盘选用导电复合材质,稳定控制表面电阻率,持续疏导摩擦产生的静电。表面经过镜面抛光处理,圆弧钝化边缘能防止超薄晶圆崩边、表面镀膜划伤。

二、狭缝吸嘴(端面吸嘴)系列

狭缝吸嘴是细长型末端吸嘴,专为狭窄缝隙、深腔内部的微小工件拾取设计,可伸入标准吸嘴无法到达的狭小空间。

代码名称材质长度L(mm)核心特点
513F端面吸嘴3F(PCTFE)3.0, 4.5, 6.0细长造型,耐酸碱,低析出,可伸入狭小间隙
55导电PEEK端面吸嘴纳米碳PEEK3.0, 4.5, 6.0细长造型+导电,防静电,适用于ESD敏感工件

半导体应用: 狭缝吸嘴主要用于晶圆边缘处理(伸入晶圆与载具之间的狭窄缝隙取片)、深腔内部工件拾取(如蚀刻槽内、清洗槽底部的微小工件)、芯片级精密操作(在高密度封装中拾取微小芯片)。材质本身低发尘、不污染晶圆表面。

三、配套系统

杯垫和狭缝吸嘴作为独立可更换的耗材,适配FLUORO吸笔的C系列(防静电干式款) 和F系列(氟树脂耐化学湿法款) 。吸嘴通过夹头卡套式快拆结构安装,徒手即可完成更换,无需工具,拆装后仍能保证真空流路气密性。

四、选型建议

需求场景推荐型号
常规晶圆平面吸附41(硅胶橡胶垫)或42(氟橡胶垫)
ESD敏感工件43(导电硅胶垫)或44(导电氟垫)
湿法酸蚀环境45(特氟龙垫)
曲面/异形工件47(复合曲面吸盘)
狭窄缝隙取片51(3F端面吸嘴)
狭缝+防静电55(导电PEEK端面吸嘴)


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