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Pfeiffer 普发 HiPace400 系列涡轮分子泵

简要描述:Pfeiffer 普发 HiPace400 系列涡轮分子泵镀膜专用 P 版本,搭载 TCP350 集成驱动单元,进气法兰 DN100 CF‑F 全金属铜密封法兰,复合轴承(永磁 + 陶瓷滚珠),DC48V 供电,氮气抽速 350L/s,4 分钟启动,RS‑485 通讯。P 型转子叶片针对镀膜工况优化,耐工艺粉尘;CF‑F 全金属密封无橡胶件,支持高温烘烤,极低漏率;支持任意方位安装,IP54 防护

基础信息

产品型号

‑P‑TCP350‑CF‑F

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-01

浏览次数

87
详细介绍
品牌Pfeiffer Vacuum/普发价格区间5万-10万
仪器种类分子泵产品类型无油泵
产地类别进口应用领域半导体

产品简介

HiPace400 系列为中大抽速复合轴承涡轮分子泵,分为标准款HiPace400、镀膜专用款HiPace400‑P两款本体,采用复合轴承(高真空永磁轴承 + 前级陶瓷球轴承),支持任意方位安装,氮气抽速 355L/s,DN100 进气法兰,可选 TC400、TCP350 两种集成驱动单元,法兰覆盖 ISO‑K 卡箍、ISO‑F 螺栓紧固、CF‑F 全金属密封三类,RS‑485 通讯,TC400 版本支持 Profinet 总线扩展,IP54 防护等级,适配真空镀膜、半导体工艺腔体、表面分析仪器、科研高真空系统。

产品特点

  1. 复合混合轴承,抗粉尘冲击,支持任意角度安装,可现场更换轴承,维护周期长。

  2. 两类集成驱动TCP350:DC48V 供电,基础驱动,RS‑485 通讯;TC400:DC48V 高性能驱动,启动速度更快,支持 Profinet 工业总线扩展。

  3. 三类法兰可选ISO‑K 卡箍法兰:拆装便捷;ISO‑F 螺栓法兰:刚性强,支持高温烘烤;CF‑F 全金属铜密封法兰:极低放气,满足严苛超高真空工况。

  4. HiPace400‑P 转子专门针对镀膜工艺优化,耐工艺粉尘,气体负载耐受能力更强Pfeiffer V...。

  5. 激光动平衡转子,运行噪音≤50dB (A),振动低,对精密设备干扰小。

  6. 转速 60‑100% 可调,多重故障报警保护,支持长期连续工业运行。

  7. 前级出气 DN25 ISO‑KF;标配对流风冷,可选强制风冷、水冷、防腐涂层、减震器配件Pfeiffer V...。

基础参数

HiPace 400

轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:355 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:DN25 ISO‑KF重量:11.2‑11.6 kg

HiPace 400‑P(镀膜专用)

轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:350 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:DN25 ISO‑KF重量:10.9‑11.4 kg

共用参数防护等级:IP54冷却:对流风冷,可选强制风冷、水冷接口:RS‑485,TC400 可扩展工业总线使用环境:0‑40℃,无冷凝标配:放气螺钉、固定紧固件可选配件:水冷套件、减震器、防腐涂层、总线模块

HiPace400 系列标准现货型号清单

HiPace 400‑TCP350 驱动

  1. HiPace400‑TCP350‑ISO‑K

  2. HiPace400‑TCP350‑ISO‑F

  3. HiPace400‑TCP350‑CF‑F

HiPace 400‑TC400 驱动

  1. HiPace400‑TC400‑ISO‑K

  2. HiPace400‑TC400‑ISO‑F

  3. HiPace400‑TC400‑CF‑F

HiPace 400‑P‑TCP350 驱动(镀膜专用)

  1. HiPace400‑P‑TCP350‑ISO‑K

  2. HiPace400‑P‑TCP350‑ISO‑F

  3. HiPace400‑P‑TCP350‑CF‑F

HiPace 400‑P‑TC400 驱动(镀膜专用)

  1. HiPace400‑P‑TC400‑ISO‑K

  2. HiPace400‑P‑TC400‑ISO‑F

  3. HiPace400‑P‑TC400‑CF‑F

合计:12 款标准现货型号特殊电压、防腐涂层为定制版本,不计入标准现货。

应用场景

真空镀膜腔体,半导体工艺腔体,可烘烤超高真空系统,表面分析仪器,等离子设备,科研高真空实验,检漏设备。
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