24 小时销售热线13058030001
产品中心

Product

当前位置:首页  /  产品中心  /  泵类  /  真空分子泵  /  HiPace350‑TC120‑ISO‑FPfeiffer 普发 HiPace 350系列涡轮分子泵

Pfeiffer 普发 HiPace 350系列涡轮分子泵

简要描述:Pfeiffer 普发 HiPace 350系列涡轮分子泵HiPace350‑TC120‑ISO‑F,HiPace350 系列,TC120 内置驱动单元,DN100 ISO‑F 螺栓紧固进气法兰,复合轴承(永磁 + 陶瓷滚珠),DC48V 供电,氮气抽速 300L/s,4 分钟启动,RS‑485 通讯。ISO‑F 法兰刚性强,支持高温烘烤,可任意方位安装,适合工艺镀膜、可烘烤工业真空腔体。

基础信息

产品型号

HiPace350‑TC120‑ISO‑F

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-01

浏览次数

71
详细介绍
品牌Pfeiffer Vacuum/普发价格区间5万-10万
仪器种类分子泵产品类型无油泵
产地类别进口应用领域半导体

产品简介

HiPace350/450 系列为中大抽速复合轴承涡轮分子泵,包含HiPace350、HiPace450两款本体,采用复合轴承(高真空永磁轴承 + 前级陶瓷滚珠轴承),转子针对小分子气体优化抽气性能,支持任意方位安装。可搭载 TC110、TC120、TC400 三种集成驱动单元,进气法兰 DN100、DN160 多规格可选,RS‑485 基础通讯,可扩展 Profinet、EtherCAT 总线,低振动低噪音,IP54 防护,适配镀膜、半导体腔体、表面分析、科研高真空系统Pfeiffer V...。

产品特点

  1. 复合混合轴承,抗震动冲击,安装角度不受限制,维护周期长。

  2. 转子优化小分子气体,氢气、氦气抽气表现优异,气体吞吐能力强,前级泵兼容性好。

  3. 三类集成驱动可选TC110:24V 基础驱动,启动 5.3min,RS‑485 通讯。TC120:48V 驱动,启动 4min,输出功率提升。TC400:高性能驱动,最快 2min 启动,支持多种工业总线扩展。

  4. 激光动平衡转子,运行噪音≤50dB (A),振动输出低,降低精密设备干扰Pfeiffer V...。

  5. 转速 60‑100% 可调,适配不同真空负载。

  6. 多重安全防护,过热、过载、传感器异常报警,支持长期连续运行。

  7. 进气法兰 DN100(350)/DN160(450),支持 ISO‑K、ISO‑F、CF‑F;前级 KF16,G1/8 放气口。

  8. 标准对流风冷,可选强制风冷、水冷散热;可配防腐涂层、减震组件、总线模块配件。

基础性能参数

HiPace 350

轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:300 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:KF16整机重量:7.2‑7.8 kg

HiPace 450

轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:380 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN160 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:KF16整机重量:10‑10.6 kg

共同参数冷却:对流风冷,可选强制风冷、水冷接口:RS‑485,可扩展工业总线防护等级:IP54使用环境:0‑40℃,无冷凝标配:放气螺钉、固定紧固件可选配件:水冷套件、减震器、防腐涂层、总线模块

应用场景

真空镀膜腔体,半导体工艺腔体,表面分析仪器,科研高真空系统,等离子设备,检漏设备
Pfeiffer 普发 HiPace 350系列涡轮分子泵Pfeiffer 普发 HiPace 350系列涡轮分子泵

技术规格

技术参数HiPace 350,DN 100 ISO-KHiPace 450,DN 160 ISO-K
氢气抽速300 l/s330 l/s
氦气抽速350 l/s380 l/s
氩气抽速270 l/s350 l/s
氮气抽速300 l/s380 l/s
氢气压缩比2 · 10⁶2 · 10⁶
氦气压缩比1 · 10⁸1 · 10⁸
氩气压缩比1 · 10¹¹1 · 10¹¹
氮气压缩比1 · 10¹¹1 · 10¹¹
最终转速下的氢气气体流量11 hPa l/s11 hPa l/s
最终转速下的氦气气体流量7 hPa l/s7 hPa l/s
最终转速下的氩气气体流量0.7 hPa l/s0.7 hPa l/s
最终转速下的氮气气体流量2 hPa l/s2 hPa l/s
适用于氮气的最大前级真空10 hPa10 hPa
启动时间5.3 最小5.3 最小
可选通信接口Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74通过 CIP 适配器实现 EtherCAT 和 Profinet 通信
标准通信接口RS-485,远程RS-485,远程
安装方向任意任意
声压级(EN ISO 2151)50 dBA50 dBA
重量(约)7.2 kg7 kg
进气口DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-FDN 160 ISO-K/ISO-F/CF-F
排气口DN 16 ISO-KF /G 3/8"DN 16 ISO-KF /G 3/8"

在线留言

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
全国咨询热线:13058030001

地址:深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷7号3层

邮箱:qsm@tamasakisemi.com

传真:0755-28770006

扫码加微信

版权所有 © 2026 玉崎半导体(深圳)有限公司    备案号:

技术支持:化工仪器网    sitemap.xml

TEL:13058030001

扫码加微信