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| 品牌 | Pfeiffer Vacuum/普发 | 价格区间 | 5万-10万 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 无油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 半导体 |
HiPace350/450 系列为中大抽速复合轴承涡轮分子泵,包含HiPace350、HiPace450两款本体,采用复合轴承(高真空永磁轴承 + 前级陶瓷滚珠轴承),转子针对小分子气体优化抽气性能,支持任意方位安装。可搭载 TC110、TC120、TC400 三种集成驱动单元,进气法兰 DN100、DN160 多规格可选,RS‑485 基础通讯,可扩展 Profinet、EtherCAT 总线,低振动低噪音,IP54 防护,适配镀膜、半导体腔体、表面分析、科研高真空系统Pfeiffer V...。
复合混合轴承,抗震动冲击,安装角度不受限制,维护周期长。
转子优化小分子气体,氢气、氦气抽气表现优异,气体吞吐能力强,前级泵兼容性好。
三类集成驱动可选TC110:24V 基础驱动,启动 5.3min,RS‑485 通讯。TC120:48V 驱动,启动 4min,输出功率提升。TC400:高性能驱动,最快 2min 启动,支持多种工业总线扩展。
激光动平衡转子,运行噪音≤50dB (A),振动输出低,降低精密设备干扰Pfeiffer V...。
转速 60‑100% 可调,适配不同真空负载。
多重安全防护,过热、过载、传感器异常报警,支持长期连续运行。
进气法兰 DN100(350)/DN160(450),支持 ISO‑K、ISO‑F、CF‑F;前级 KF16,G1/8 放气口。
标准对流风冷,可选强制风冷、水冷散热;可配防腐涂层、减震组件、总线模块配件。
轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:300 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:KF16整机重量:7.2‑7.8 kg
轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:380 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN160 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:KF16整机重量:10‑10.6 kg
共同参数冷却:对流风冷,可选强制风冷、水冷接口:RS‑485,可扩展工业总线防护等级:IP54使用环境:0‑40℃,无冷凝标配:放气螺钉、固定紧固件可选配件:水冷套件、减震器、防腐涂层、总线模块
真空镀膜腔体,半导体工艺腔体,表面分析仪器,科研高真空系统,等离子设备,检漏设备
Pfeiffer 普发 HiPace 350系列涡轮分子泵Pfeiffer 普发 HiPace 350系列涡轮分子泵