品牌	EBARA/荏原	价格区间	2万-3万
仪器种类	真空泵	产品类型	无油泵
产地类别	进口	应用领域	化工,能源,电子/电池,半导体,机械设备

EBARA 荏原 EV‑M502N 多级罗茨干式真空泵EBARA 荏原 EV‑M502N 多级罗茨干式真空泵
关键技术参数

型号系列：EV‑M（N 标准防腐款 / SF 强防腐特氟龙涂层款）泵体结构：多级罗茨无油干式结构抽气速率：10000‑110000L/min极限真空：≤5×10⁻²Pa冷却方式：水冷供电：三相 AC200‑460V，50/60Hz，50Hz/60Hz 工况性能一致通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程读取认证：SEMI‑S2、CE、NRTL材质版本‑N 型：腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀‑SF 型：内腔 PFA 特氟龙涂层，强腐蚀工况专用

产品概述

EV‑M 系列为日本 EBARA 荏原重载型多级罗茨干式真空泵，无油干式水冷机型，专门面向半导体、显示、光伏大量产生粉末、盐类副产物、腐蚀性气体的严苛重载工艺。搭载腔体分段伴热控温技术，抑制工艺副产物冷凝结晶；智能变频怠速节能，大气压直抽无需前级泵，N/SF 两种防腐材质版本适配不同腐蚀等级工况，广泛应用半导体重制程、面板、光伏高负荷排气场景。

工作原理

多级非接触罗茨转子逐级压缩，整机无油运行。泵腔分段伴热维持腔体高温，避免氯化铵、二氧化硅等反应生成物冷却附着；智能变频控制系统，工艺负载高时满功率输出，待机空载自动切换怠速节能模式；水冷散热，实时采集温度、电流、压力运行参数，支持远程监控、故障预警，可对接工厂 FAB 自动化系统。

核心特点

腔体分段伴热控温技术，抑制盐类、粉末副产物结晶堆积，延长保养周期，解决重制程泵体堵塞痛点。
双防腐版本可选，N 标准镀层适配常规腐蚀气体；SF 全 PFA 特氟龙涂层应对 HF、HBr、Cl₂等高浓度强腐蚀尾气。
多级罗茨结构，氢气抽气性能优于螺杆干泵，MOCVD、ALD 富氢工艺排气表现优异。
智能怠速节能模式，待机工况功耗大幅下降，兼顾重载能力与运行成本。
大气压直接启动，无需前置泵；整机集成水冷，机身紧凑，节省 Subfab 机房空间。
RS485 通讯接口，完整报警历史存储，运行数据可上传上位机，实现工厂集中监控。
50Hz、60Hz 电网频率下性能保持一致，适配*各地产线。
低振动低噪音，满足 SEMI‑S2 半导体安全规范。

典型应用场景

半导体：ALD、LPCVD、HDP‑CVD、PECVD、MOCVD、刻蚀工艺排气；显示面板：LCD/OLED 成膜、刻蚀重载工艺；光伏行业：太阳能电池薄膜沉积制程；其它：处理腐蚀性气体、大量固体副产物各类高负荷真空制程。

EV‑M 系列完整型号清单

EV‑M20N、EV‑M102N、EV‑M202N、EV‑M302N、EV‑M502N、EV‑M802N、EV‑M1202NEV‑M505SF、EV‑M805SF、EV‑M1205SF

配套推荐

可搭配荏原尾气处理装置；真空检测选用真空计模块；支持对接工厂 FAB 远程监控系统。

规格


类型		单元	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
冷却水	流速	升/分钟	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷却水	温度	℃	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30
电源	功率容量	千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
泵送速度		升/分钟	1800	10000	20000	30000	50000	50000	80000	80000	110000
极限压力		宾夕法尼亚州	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
联系	进口		西北40	ISO100	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
联系	出路		西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40
极限压力下的近似功率		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
N2	流速	帕·米³/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
电源相位/电压/频率	200V 型号		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
电源相位/电压/频率	400V 型号		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
重量		公斤	170	320	360	400	500	580	740	820	870

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