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SEC‑Z534MGX-厂商性质
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HORIBA 堀场SEC‑Z534MGX数字质量流量计中流量热式 MFC，搭载 MG 多气体多量程功能，软件端可切换气体种类以及满量程，无需拆卸管路。压电常闭阀，全量程响应≤1s，中流量区间控制稳定。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配中流量高纯、部分腐蚀性工艺气体。VCR 接头属于选配配件
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SEC‑Z524MGX-厂商性质
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52产品描述
HORIBA 堀场SEC‑Z524MGX数字质量流量计中小流量热式 MFC，搭载 MG 多气体多量程功能，软件端可切换气体种类以及满量程，无需拆卸管路。压电常闭阀，全量程响应≤1s，中小流量区间控制稳定。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配中小流量高纯、部分腐蚀性工艺气体。VCR 接头属于选配配件
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SEC‑Z514MGX-厂商性质
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53产品描述
HORIBA 堀场SEC‑Z514MGX数字质量流量计微流量热式 MFC，搭载 MG 多气体多量程功能，软件端可切换气体种类与满量程，无需拆卸管路。压电常闭阀，全量程响应≤1s，适配微量气体精准控制。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配微量高纯、部分腐蚀性工艺气体。VCR 接头属于选配配件。
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SEC‑Z500X-厂商性质
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63产品描述
HORIBA 堀场 SEC‑Z500X系列数字质量流量计SEF‑Z500X 为同系列无阀质量流量计；基础子型号：SEC‑Z514MGX、SEC‑Z524MGX、SEC‑Z534MGX、SEC‑Z544MGX、SEC‑Z554MGX、SEC‑Z564MGX；通讯支持模拟、DeviceNet、EtherCAT；热式传感，MG 多气体多量程，全量程响应≤1s，VCR 接头属于选配配件。
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SEC‑Z744SMG-厂商性质
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49产品描述
HORIBA堀场SEC‑Z744SMG质量流量模块流量计EtherCAT 中大流量热式 MFC，内置 PI 压力补偿功能，抵消供气压力波动带来的流量偏移。具备 MG 多气体功能，总线端在线切换气体种类与满量程规格，无需拆回设备校准。压电常闭阀，响应时间 300‑1000ms 可调，控制区间 0.5‑100% FS。机身配备显示窗口，现场可读取流量、压力、运行状态。
