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SEF‑Z514MGX-厂商性质
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HORIBA堀场SEF‑Z514MGX数字质量模块流量计属于 SEF‑Z500X 系列无阀热式质量流量计，内部无调节阀门，仅完成气体质量流量测量与数据输出。搭载 MG 多气体多量程功能，软件端即可切换气体种类与满量程，无需拆卸管路。传感本体测量灵敏度高，适配各类微量气体回路监测。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT。
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SEF‑Z500X -厂商性质
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HORIBA 堀场SEF‑Z500X 系列数字质量流量计基础子型号：SEF‑Z514MGX、SEF‑Z524MGX、SEF‑Z534MGX、SEF‑Z544MGX、SEF‑Z554MGX、SEF‑Z564MGX；同 SEC‑Z500X 硬件传感本体，不带控制阀，只做流量监测采集；通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT；MG 多气体多量程
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SEC‑Z564MGX-厂商性质
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HORIBA 堀场SEC‑Z564MGX数字质量流量计超大流量热式 MFC，搭载 MG 多气体多量程功能，软件端可切换气体种类以及满量程，无需拆卸管路。压电常闭阀，全量程响应≤1s，超大流量区间控制稳定。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配超大流量高纯、部分腐蚀性工艺气体。VCR 接头属于选配配件。
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SEC‑Z554MGX-厂商性质
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HORIBA 堀场SEC‑Z554MGX数字质量流量计大流量热式 MFC，搭载 MG 多气体多量程功能，软件端可切换气体种类以及满量程，无需拆卸管路。压电常闭阀，全量程响应≤1s，大流量区间控制稳定。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配大流量高纯、部分腐蚀性工艺气体。VCR 接头属于选配配件。
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SEC‑Z544MGX-厂商性质
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HORIBA 堀场SEC‑Z544MGX数字质量流量计中大流量热式 MFC，搭载 MG 多气体多量程功能，软件端可切换气体种类以及满量程，无需拆卸管路。压电常闭阀，全量程响应≤1s，中大流量区间控制稳定。通讯支持模拟量、RS‑485、DeviceNet、EtherCAT。接液部件 SUS316L 电解超净抛光，适配中大流量高纯、部分腐蚀性工艺气体。VCR 接头属于选配配件。
