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In‑Vale-厂商性质
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日本V‑TEX In‑Vale 侵入式闸阀- 主流口径：DN65、DN80、DN100、DN150、DN200 - 驱动：气动 - 气源压力：0.45‑0.55MPa - 工作真空：大气压～1×10⁻⁷Pa - 法兰：ISO‑F 标准大口径法兰 - 信号：磁性开关输出阀门开 / 关到位信号 - 密封：FKM 标准，可选 FFKM 全氟醚橡胶
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Small‑Rollcam‑H厂商性质
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日本V‑TEX 小型 Rollcam 滚凸轮狭缝闸阀小型Small‑Rollcam‑H 属于小型滚凸轮系列带阀体加热的 Slit Valve 狭缝闸阀，继承 Rollcam 凸轮低发尘结构，机身紧凑，集成阀体加热功能，专门用于 4 英寸、6 英寸小晶圆设备，解决工艺副产物冷凝沉积问题，多用于小型刻蚀、去胶、预处理腔体。
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Small‑Rollcam厂商性质
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日本V‑TEX 小型 Rollcam 滚凸轮狭缝闸阀小型 Rollcam 滚凸轮闸阀（Small‑Rollcam），是 V‑TEX 针对小基板、紧凑型设备开发的迷你版凸轮式 Slit Valve 狭缝门阀，继承经典 Rollcam 凸轮机构，整机体积大幅缩小，节省设备内部安装空间，多用于小尺寸晶圆、碎片检测设备、小型预处理腔体、实验室真空装置株式会社ブ...
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True‑L‑Motion‑H厂商性质
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81产品描述
V‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀True‑L‑Motion‑H 是 True‑L‑Motion 系列带阀体加热的电动狭缝传输门阀，专为 12 英寸 300mm 晶圆设备开发，集合纯 L 直线运动低发尘与阀体高温加热两大特性，针对工艺副产物冷凝沉积问题，多用于刻蚀、去胶、ALD 等易产生聚合物的优良半导体制程。
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True‑L‑Motion-厂商性质
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V‑TEX True‑L‑Motion 真 L 运动狭缝闸阀True‑L‑Motion（真 L 运动）是 V‑TEX 新一代电动狭缝传输闸阀（Slit Valve），区别于传统 Rollcam 凸轮旋转摆动轨迹，阀板执行**纯 L 型直角运动**：先水平退离密封面，再垂直升降，全程无旋转摆动，面向优良 12 英寸半导体工艺，主打更低振动、更低发尘、密封件可控压缩量。
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