FLUORO 福乐 851‑L 防静电真空管路｜半导体晶圆吸笔专用伸缩软管现货库存

一、产品概述

FLUORO 福乐 851‑L 是日本 FLUORO 福乐原厂出品的大号防静电导电螺旋真空伸缩软管，属于 851 系列真空连接管路当中 L 大号规格，专门用于无尘车间内手持晶圆真空吸笔与真空发生装置之间的负压管路连接，是半导体晶圆搬运工位当中非常关键的配套耗材配件。

在半导体制造的无尘车间里面，整套晶圆拾取系统一般由手持真空吸笔、真空软管、真空源（隔膜真空泵）三大部分共同组成；很多使用者会把关注点放在吸笔本体的选型上，却容易忽略中间连接管路的性能。普通 PU 气管、普通弹簧管并不具备防静电消散能力，在反复拉伸弯折作业时会持续摩擦积累静电，一旦静电释放，极易造成硅晶圆、碳化硅晶片、化合物半导体裸芯片发生静电击穿损伤，直接带来产品报废，造成可观的生产损耗。FLUORO 福乐 851‑L 导电螺旋软管正是针对这一痛点开发的专用配套管路，从负压传输通路层面消除静电蓄积风险，保障静电敏感元器件的搬运安全，本型号现货库存可直接供货。

851 系列一共分为 851‑M 小号以及 851‑L 大号两款，M 小号管径偏小，适合小流量、小型 C 系列、F 系列小尺寸晶圆吸笔；而本次介绍的 851‑L 为大流量版本，管路通径更大，负压通气流量更高，适配大负载的手持真空吸笔，多用于 6‑8 寸硅晶圆的产线搬运作业场景，螺旋弹簧式本体自带伸缩回弹特性，操作人员手持吸笔作业移动时管线可以跟随自由伸缩，不会出现管线缠绕拉扯、管线过度拖拽干涉工作台面的问题，改善无尘工位操作人员的作业体验，同时降低管线因为反复弯折出现开裂漏气的故障概率。

二、型号释义

• 851：产品系列编号，FLUORO 福乐导电伸缩螺旋真空软管系列

• ‑L：Large 大号规格，代表加大通径版本，相比 M 小号内径更大，通气流量提升，适配大尺寸晶圆吸笔；同系列小号版本为 851‑M

三、材质与核心技术参数

FLUORO 福乐 851‑L 采用导电聚氨酯弹性体双层复合材质一体挤出成型，整根管路本体全部具备导电消散能力，并非简单在普通软管外层喷涂导电涂层；涂层式防静电管路经过一段时间弯折摩擦之后表层导电涂料很容易剥落，防静电性能直接失效，而 851‑L 是材料本体就添加导电组分，防静电性能内嵌于管路基材之中，长期反复伸缩使用，导电性能依旧稳定，不会因为表层磨损而丧失 ESD 防护能力。

电阻率指标是防静电软管最核心的性能指标，851‑L 表面电阻率维持在 10³‑10⁶Ω/cm²，体积电阻率 10‑10⁴Ω・cm，该电阻率区间恰好处于半导体无尘车间 ESD 管控的理想范围；既可以快速导除管路摩擦生成的静电，又不会出现直接导通短路的情况，适配半导体厂区静电防护管控标准。

温度适用区间‑40℃～+80℃，在低温环境作业时软管不会发硬脆裂；在车间设备周边中等温度环境下使用，软管也不会出现软化、蠕变变形的情况，环境适应性很强。原厂成品两端已经预装标准快插接头，不需要用户额外加工接头，拿到手之后可以直接对接 FLUORO 福乐原厂 C 系列、F 系列真空吸笔以及 FV 系列隔膜真空泵；螺旋伸展之后最大总长约 1900mm，收缩状态下体积小巧，不占用工作台空间。压力性能方面，额定工作压力 8.0kgf/cm²，爆破压力大于 16kgf/cm²；原厂经过上万次循环弯折寿命测试，螺旋部分抗疲劳性能优秀，长期高频伸缩使用，接头位置不容易漏气脱落。基础规格汇总：

表格

                                         四、产品核心特点

1. 本体式防静电，无涂层脱落隐患不同于市面上后期喷涂导电层的仿款软管，851‑L 的导电组分直接混合在聚氨酯基材内部，即便长期拉伸摩擦，管路外壁磨损之后防静电性能依旧稳定，不用担心防静电失效带来的晶圆静电损伤风险，长期使用可靠性更高，更适合 24 小时不间断运行的量产无尘产线。

2. 螺旋伸缩回弹结构，改善工位操作便利性弹簧螺旋结构自带伸缩回弹效果，操作人员手持吸笔前后移动取放晶圆时管线跟随伸缩，作业半径可以灵活覆盖工作台，松开手之后管线自动回缩；有效避免管线拖在台面上勾到晶圆盒、治具，减少管线缠绕干涉，优化操作人员的作业动线，同时减少管线过度拉伸拉扯真空泵接口的情况，延长整套设备使用寿命。

3. 大内径通径，负压流量充足，适配大尺寸晶圆吸笔L 大号版本拥有 4mm 内径，通气流量优于小号 851‑M；当使用 8 寸晶圆规格的真空吸笔作业时，足够的负压通气量可以保障吸盘吸附力稳定，不会因为管路通气不足出现吸附力偏弱、晶圆中途脱落掉片的故障，保证大尺寸硅片搬运过程吸附稳定性。

4. 低发尘无尘适配洁净车间环境管材内壁经过平滑精加工处理，内壁光滑不易积存微粒粉尘；软管生产过程管控微粒析出，符合半导体无尘车间对于耗材低发尘的基础管控要求；不会因为管路内部析出颗粒杂质对晶圆表面带来二次污染，适配 Class100、Class1000 级别的无尘洁净室工况。

5. 原厂预装标准接头，开箱即可装配使用管路两端出厂已经装配好标准对接接头，无需现场裁切、粘接加工；一端直接对接手持真空吸笔尾部接口，另一端对接 FV 系列隔膜真空泵出气口，装配简单快捷，降低现场安装的工作量，减少人工裁切之后带来的漏气风险。

6. 优秀耐弯折抗疲劳寿命聚氨酯基材弹性优秀，螺旋部位经过原厂疲劳验证，可以承受大量反复伸缩弯折，螺旋圈不容易发生变形；接头位置做强化加固处理，在频繁拉扯工况下接头不易松脱漏气，减少产线停机更换耗材频次。

五、适配与兼容说明

FLUORO 福乐 851‑L 作为配套管路，需要和真空吸笔、真空源配合使用，不能够单独拿出来直接完成晶圆吸取作业。适配真空泵机型：FV‑10、FV‑30、FV‑60、FV‑XP 系列隔膜真空泵；适配真空吸笔机型：C 系列 C002、C007；F 系列 F002、F007 等大流量手持真空吸笔，适合 6 寸‑8 寸硅晶圆搬运；选型区分提示：如果是小尺寸 2‑4 寸晶片，手持作业活动范围不大的工况，优先选用小号规格 851‑M；6 寸以上大晶圆、需要更大负压流量的量产工位，选用本款 851‑L。

注意事项：本软管主要针对干式无尘车间使用；不建议直接长时间浸泡在酸碱药液当中，湿法槽体周边使用时应做好管路防护，避免药液直接接触软管表面，防止化学溶剂侵蚀聚氨酯材质缩短使用寿命。

六、应用领域

1. 半导体硅晶圆制程：6‑8 寸硅片在无尘工作台的人工取放、晶圆盒上料下料、晶圆目视检查工位、显微镜观测转移；

2. 化合物半导体行业：碳化硅 SiC、氮化镓 GaN 裸晶片人工搬运、分选检测工位；

3. 光学元器件行业：大尺寸光学玻璃基板、石英薄片人工拾取转移；

4. 电子元器件实验室研发小试：无尘实验台晶片试样人工拾取搬运；

5. 面板行业零部件拾取：液晶、OLED 相关薄片元器件无尘转移作业。

在半导体无尘车间实际生产当中，很多工厂遇到过零散的不明原因晶片静电损伤故障，排查之后才发现根源就在于配套真空软管防静电性能不合格；整套晶圆拾取系统的 ESD 防护需要从真空泵、连接软管一直到吸笔头完整打通，851‑L 导电螺旋软管正是整套防静电拾取系统里面非常关键的一环，很多原厂吸笔配套方案当中的标配管路就是该型号。

七、供货说明

FLUORO 福乐 851‑L 导电螺旋真空软管，现货库存；作为半导体无尘车间配套耗材，软管属于消耗件，长期反复伸缩使用之后建议定期检查管路外观以及防静电性能，发现管路表层出现裂纹、硬化之后及时更换，维持产线工位的运行可靠性。