产品型号
Rollcam‑H厂商性质
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2026-08-27浏览次数
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V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam‑H 为 Rollcam 系列带阀体加热功能的狭缝传输闸阀（Slit Valve），分为 Rollcam‑200‑H（8 英寸）、Rollcam‑300‑H（12 英寸）两个主流规格，专门针对会产生冷凝副产物的半导体工艺，通过阀体控温避免反应物沉积粘附阀门，维持门阀流通与密封性能。
产品型号
Rollcam‑300厂商性质
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2026-08-27浏览次数
65产品描述
V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam‑300 属于 Rollcam 系列 12 英寸晶圆专用狭缝传输闸阀（Slit Valve），广泛用于 12 寸半导体设备负载锁、传输腔、工艺腔之间，完成真空隔离与晶圆传送，采用凸轮滚柱驱动结构，启闭低发尘，是 300mm 晶圆设备主流门阀部件。
产品型号
- Rollcam‑200厂商性质
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2026-08-27浏览次数
97产品描述
V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam‑200 为 V‑TEX Rollcam 系列 8 英寸晶圆专用传输狭缝闸阀（Slit Valve），主要用于 8 寸半导体设备负载锁、传输腔与工艺腔之间真空隔离、晶圆传送，依靠凸轮滚柱驱动结构，实现低发尘启闭动作。
产品型号
Rollcam闸阀厂商性质
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2026-08-27浏览次数
113产品描述
V‑TEX Rollcam 半导体狭缝闸阀真空门阀Rollcam 属于矩形窗口式狭缝真空闸阀（Slit Valve），是 V‑TEX 核心产品，多用于半导体设备腔体之间晶圆传送隔离，依靠凸轮滚柱复合动作，解决普通门阀开关摩擦发尘问题，是 8 英寸、12 英寸晶圆设备负载锁、传输腔主流配置。
产品型号
SG‑VCR8‑S厂商性质
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MIYUKI美幸辉SG系列为小型气动波纹管截止阀SG‑VCR8‑S 属于 SG 系列小型气动波纹管直通真空阀，VCR8 公头金属面密封接头，内置磁性接近开关，金属波纹管隔离阀杆消除轴动密封渗漏，超低漏率，适配高纯气体与高真空烘烤工况。单作用弹簧常闭气动驱动，通气开启，断气自动关闭防止大气倒灌腔体。具备阀位信号反馈输出，可向 PLC 反馈阀门全开 / 全闭状态，两位式全开全关，无节流调节，整机小巧轻
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