相关文章-
产品型号
-
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-07-23 -
浏览次数
80
产品描述
ULVAC 爱发科 LR180 多级罗茨干式真空泵 LR180 属于 ULVAC LR 系列中大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。 严禁用于含有卤素腐蚀气体、大量黏性升华结晶物的刻蚀 / CVD/ALD 工艺，腐蚀工艺选型 HR300 高温款。
24 小时销售热线13058030001
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-07-23浏览次数
80产品描述
ULVAC 爱发科 LR180 多级罗茨干式真空泵 LR180 属于 ULVAC LR 系列中大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。 严禁用于含有卤素腐蚀气体、大量黏性升华结晶物的刻蚀 / CVD/ALD 工艺，腐蚀工艺选型 HR300 高温款。
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-07-23浏览次数
105产品描述
ULVAC 爱发科 LR90 多级罗茨干式真空泵 LR90 属于 ULVAC LR 系列中型常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。依托成熟罗茨架构，主打泛半导体、光电行业洁净真空工况，常作为中型溅射、蒸发镀膜设备 Load Lock 腔体前级真空泵，承受腔体频繁破空、循环抽气；仅适合空气、氮气等洁净气体；严禁用于含有大量升华物、卤素腐蚀气体的刻蚀、CVD、ALD 工艺，
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-07-23浏览次数
95产品描述
ULVAC 爱发科 LR60 多级罗茨干式真空泵 LR60 属于 ULVAC LR 系列小型常温洁净型水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。专为半导体、光电 PVD 设备开发，主打洁净空气、氮气抽取，适配镀膜 Load Lock 腔体频繁破空循环抽气场景；可作为涡轮分子泵前级泵。 ⚠️ 不适合含有卤素腐蚀气体、大量升华结晶物的刻蚀 / CVD 工艺，腐蚀工艺请选用 HR60 高
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-07-23浏览次数
102产品描述
ULVAC爱发科ES4A干式真空泵节能装置 ES4A 属于 ULVAC ECO-SHOCK 系列中小型多级罗茨干式真空泵节能附属装置，不属于真空泵主机，串联安装于干泵排气管道使用。专为 LR、GR、HR 系列中小型常温罗茨干泵开发，尤其适配镀膜 Load Lock 腔体频繁破空循环抽气工况；真空长期稳定在 1000Pa 以下时实现显著节电，同时抑制泵体温升、平稳排气脉动、降低排气噪音。
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-07-23浏览次数
73产品描述
ULVAC爱发科ES10干式真空泵节能装置 ES10 属于 ULVAC ECO-SHOCK 系列中大流量干式真空泵节能附属装置，不属于真空泵主机，串接在多级罗茨干泵排气管路使用。专为 LR、GR、HR 系列中大型常温罗茨干泵开发，在腔体长期维持 1000Pa 以下稳态工况实现显著节电，同时优化排气脉动、降低泵体发热与排气噪音；仅适合空气、氮气、氩气等洁净惰性气体。
