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EV‑X20 -
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2026-08-22 -
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产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X20 为 EV‑X 系列中流量机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷制程，适配刻蚀、CVD、灰化等工艺，可选用防腐版本应对腐蚀性工艺气体。
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EV‑X20厂商性质
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19产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X20 为 EV‑X 系列中流量机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷制程，适配刻蚀、CVD、灰化等工艺，可选用防腐版本应对腐蚀性工艺气体。
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V‑X10N厂商性质
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26产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X10N 是 EV‑X10 的镍合金防腐版本，无油螺杆干式真空泵，针对半导体强腐蚀工艺工况开发，腔体采用镍合金材质，适合含氟、氨气等腐蚀性工艺尾气抽取。
产品型号
EV‑X10厂商性质
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2026-08-22浏览次数
21产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X10 属于 EV‑X 系列基础机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷工艺，可处理常规及轻度腐蚀性工艺尾气，多用于刻蚀、CVD、灰化等产线主抽真空设备。
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TG2810厂商性质
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2026-08-20浏览次数
49产品描述
Osaka Vacuum 大阪真空涡轮分子泵TG2810 属于 TG 系列标准型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，适配洁净惰性气体工况，大抽速输出，标配水冷散热，适合大容积腔体长时间连续量产作业，多用于半导体、FPD 面板、大型科研真空装置。同规格可选用 TG2813 化学对策版本，应对部分腐蚀性工艺气体。
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2026-08-06浏览次数
45产品描述
Osaka Vacuum 大阪真空 TG1813 涡轮分子泵TG1813 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，标配水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 面板以及大型科研真空装置。
