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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
|---|
FLUORO福乐（Fluoromechanic Co., Ltd.）总部位于日本东京都江户川区，是专业的半导体晶圆搬运工具制造商，专注于真空吸笔、真空泵、吸嘴吸盘等精密工具的开发、制造与销售。公司拥有自有国内工厂，以“安全、可靠、惊喜"为理念进行生产，产品广泛应用于半导体制造现场和精密设备领域，从半导体晶圆到微小物品的吸附搬运均可覆盖。
| 代码 | 姓名 | 材料 | 内径尺寸 | 绘画 | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.05 | 0.07 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 1.2 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | ||||
| 21 | 3F喷嘴 *售完即止 | 3F（PCTFE） |  |  |  |  |  |  |  |  |  | 详细信息 （X 为内径） | ||||
| 22 | 3F喷嘴（带盖） *售完即止 | 3F（PCTFE） |  |  | ||||||||||||
| 23 | PEEK喷嘴 | 窥视 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  | ||||
| 24 | Vesper喷嘴 | 黄昏 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  | ||||
| 25 | 导电PEEK喷嘴（带盖） | 导电PEEK |  |  | ||||||||||||
| 26 | 导电PEEK喷嘴 | 导电PEEK |  |  |  |  |  |  |  |  |  | |||||
| 28 | 导电PEEK喷嘴（带盖） | 导电PEEK |  | |||||||||||||
| 29 | 导电PEEK喷嘴（带盖） | 导电PEEK |  | |||||||||||||
| 57 | 硅胶喷嘴 | 透明硅橡胶 + 3F (PCTFE) |  |  |  | 详细信息 （X 为内径） | ||||||||||
| 59 | 导电氟橡胶喷嘴 | 导电氟橡胶 + 导电 PEEK 树脂 导电 Viton 橡胶 Viton® |  |  |  | |||||||||||
| 定制喷嘴 | 我们生产的喷嘴可以处理各种类型的吸附材料。 | |||||||||||||||
* 导电PEEK喷嘴采用纳米碳PEEK材料制成。
* 由于橡胶材质不同，硅橡胶喷嘴和导电Viton®橡胶喷嘴的外径和长度会略有差异。
* Vespel喷嘴和定制喷嘴均为按需生产。
喷嘴是真空吸笔的末端吸附部件，直接接触工件，其材质和内径尺寸决定了适用的工件类型和工况环境。FLUORO喷嘴提供从0.05mm到3.0mm的多种内径规格，材质涵盖PCTFE、PEEK、导电PEEK、硅橡胶、导电氟橡胶等。
| 代码 | 名称 | 材质 | 内径尺寸（mm） | 核心特点与适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| 21 | 3F喷嘴 | 3F（PCTFE） | 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0 | 标准型，适用于常规微小工件拾取 |
| 22 | 3F喷嘴（带盖） | 3F（PCTFE） | 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0 | 带盖设计，保护吸附端 |
| 23 | PEEK喷嘴 | PEEK | 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0 | 耐化学性、耐热性、强韧性优异，机械加工后经热处理和镜面加工，长期使用性能稳定 |
| 24 | Vesper喷嘴 | Vesper | 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0 | 按需生产 |
| 25 | 导电PEEK喷嘴（带盖） | 导电PEEK | 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0 | 带盖导电型，适用于静电敏感工件 |
| 26 | 导电PEEK喷嘴 | 导电PEEK | 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0 | 纳米碳PEEK材质，防静电，专为半导体晶圆设计 |
| 28 | 导电PEEK喷嘴（带盖） | 导电PEEK | 0.1 | 极小内径，适用于极微小工件的精密拾取 |
| 29 | 导电PEEK喷嘴（带盖） | 导电PEEK | 0.05 | 最小内径规格，适用于超精密微小工件 |
| 57 | 硅橡胶喷嘴 | 透明硅橡胶 + 3F（PCTFE） | 1.0, 1.2, 1.5 | 柔软材质，适用于易划伤工件表面；因橡胶材质，外径和长度略有差异 |
| 59 | 导电氟橡胶喷嘴 | 导电氟橡胶 + 导电PEEK树脂 | 1.0, 1.2, 1.5 | 兼具导电性和耐化学性，适用于酸蚀环境；因橡胶材质，外径和长度略有差异 |
| — | 定制喷嘴 | — | 按需定制 | 可制作应对各种吸附物的喷嘴，按需生产 |
关于导电PEEK材质： 导电PEEK喷嘴采用纳米碳PEEK材料制成，添加碳纳米管实现低填充量下的高导电性管理，兼具PEEK树脂的耐化学品性、耐热性和强韧性。吸着芯片经机械加工、热处理和镜面加工，长期使用性能稳定。
关于橡胶材质喷嘴： 硅橡胶喷嘴和导电氟橡胶喷嘴因橡胶材质特性，外径和长度与标准PEEK喷嘴略有差异。
吸盘（Pad）是吸附面积更大的末端部件，适用于晶圆等较大面积工件的平面吸附。吸盘材质包括导电硅胶、SUS不锈钢、PTFE特氟龙等，可根据工件尺寸和工况选择。
主要吸盘类型：
传导性硅胶吸盘：吸头采用传导性硅胶一体成型，兼顾弹性缓冲与防静电双重性能，接触面柔软平缓，吸附薄片、镀膜、脆性平面工件时受力均匀，不会产生压痕、划伤。
SUS不锈钢吸盘：采用SUS不锈钢精密加工成型，强度高、耐磨损、不易变形，经圆滑倒角处理，吸附超薄、脆性小件时不会造成表面划伤。
PTFE特氟龙吸盘：耐化学腐蚀性强，适用于酸蚀环境或精密器械维修。
晶圆吸嘴/芯片：
FLUORO提供多种晶圆吸嘴和芯片，专为不同尺寸晶圆的搬运设计：
Y型芯片：支持弯曲加工，适配5至12英寸晶圆，采用标准PEEK（非导电）或导电PEEK材质。
导电性多孔芯片：材料为导电PEEK，非常适合在处理化合物半导体、薄晶圆等时减少应力，具有快速吸附/分离响应。
型号示例：501（6英寸Y型芯片）、502（8英寸Y型芯片）、96（6英寸导电X/Z型芯片）、97-CP（8英寸导电PEEK吸嘴）、66-CP（8-12英寸用导电性多孔芯片）。
| 行业 | 具体场景 |
|---|---|
| 半导体制造 | 晶圆（硅片、SiC碳化硅、GaN）的拾取、搬运、上下料；划片前上料、检测、贴膜、封装工序的人工搬运 |
| 化合物半导体 | 薄晶圆、化合物半导体裸芯片的应力减轻搬运 |
| 光学元件 | 光学玻璃基板、光学薄片、镀膜工件的无痕拾取 |
| 精密电子 | 陶瓷薄片、微小电子元件的组装与检测 |
| 湿法工艺 | 酸蚀环境、清洗槽、蚀刻槽内的晶圆取放（F系列氟树脂耐化学款） |
| 研发实验室 | 小批量试样处理、半导体研发实验室的精密操作 |
| 需求场景 | 推荐材质/型号 |
|---|---|
| 常规晶圆搬运 | PEEK喷嘴（代码23） |
| 静电敏感晶圆（防ESD） | 导电PEEK喷嘴（代码25/26） |
| 极微小工件精密拾取 | 导电PEEK喷嘴（代码28/29，内径0.05-0.1mm） |
| 易划伤工件表面 | 硅橡胶喷嘴（代码57） |
| 酸蚀/湿法环境 | 导电氟橡胶喷嘴（代码59）或F系列氟树脂吸盘 |
| 大面积平面吸附 | 传导性硅胶吸盘、SUS不锈钢吸盘 |
| 化合物半导体/薄晶圆 | 导电性多孔芯片（66-CP、97-CP等） |
| 晶圆平面吸附 | Y型芯片（501、502等） |
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