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MKS美国IE1000A超大流量工业质量流量控制器

简要描述:MKS美国IE1000A超大流量工业质量流量控制器采用弹性体密封的多气体/多量程质量流量控制器,其防护等级为 IP66,专为严苛的工业环境而设计,可有效防止液体和灰尘侵入。IE1000A 的满量程范围为 501 至 1000 slm(氮气当量)。如此宽广的流量范围得益于其独特的控制阀设计,该设计能够快速响应设定值的变化,同时保持远低于其他高流量质量流量控制器的闭路泄漏率。

基础信息

产品型号

IE1000A-

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-16

浏览次数

78
详细介绍
品牌MKS/美国价格区间面议
产品种类质量式介质分类气体
产地类别进口应用领域半导体
  • 流量范围为 500 至 1000 标准升/分钟

  • 密封件和阀塞可选材质为氟橡胶 (Viton)、丁腈橡胶 (Buna)、氯丁橡胶 (Neoprene) 或三元乙丙橡胶 (EPDM)。

  • 模拟量、RS485、Profibus™ 或 DeviceNet™ 输入/输出

  • 标准闭路电导泄漏率小于满量程的 1.0%。

  • 1至2秒的稳定时间

MKS美国IE1000A超大流量工业质量流量控制器MKS美国IE1000A超大流量工业质量流量控制器
规格

  • 类型
    质量流量控制器
  • 满量程流量范围
    501-1000 标准流明(N2 等效)
  • 安装类型
    兼容:
    12 毫米 Swagelok 接口
    、0.5 英寸管压接头
    、0.75 英寸压接头
    、0.5 英寸 NPT 内螺纹接口、
    0.75 英寸 NPT 内螺纹接口、
    8 英寸 VCR外螺纹接口
    、8 英寸 VCO 外螺纹接口
  • 连接器
    Profibus
    PROFINET
    15 针 D(模拟 0-5 VDC I/O)
    15 针 D(4-20 mA I/O)
  • 最大入口压力
    150 psig
  • 正常运行压差
    40-50磅/平方英寸
  • 爆破压力
    1500 psig
  • 控制范围
    满量程的 2-100%
  • 典型精度
    满量程20%至100%时,设定值的±1%;
    满量程5%至20%时,设定值的±0.25%。
  • 重复性
    阅读的±0.5%
  • 解决
    阅读的0.1%
  • 零温度系数
    <0.05% 满量程/°C
  • 跨度温度系数
    <0.08% 读数/°C
  • 入口压力系数
    雷丁/psi 的 <0.08%
  • 典型稳定时间
    在 50 psi 压力下,高于满量程的 10% 时,典型值小于 3 秒。
  • 热身时间
    1小时
  • 工作温度
    10-50°C
  • 储存湿度
    相对湿度0-95%,无冷凝
  • 储存温度
    -20°至65°C
  • 外部泄漏完整性
    <1 x 10 -9 (scc/sec He)
  • 关闭阀门的泄漏完整性
    在 40 psia 到真空 (<500 mTorr) 时,满量程的 <1.0%
  • 密封材料
    Viton®
    丁腈橡胶
    Neoprene®
    三元乙丙橡胶
  • 湿润材料
    316不锈钢、Elgiloy合金、430FR铝合金、聚四氟乙烯(标准)
  • 表面处理
    平均Ra值为16微英寸。
  • 外壳额定值
    IP66
  • 电源要求
    15-24 VDC @ (<8 瓦)
  • 流量输入输出信号
    电压:0-5VDC
    电流:4-20mA
  • 模拟 I/O 连接器
    电压:15针D型公头
    电流:15针D型公头
  • 重量
    12.7磅(5.8公斤)
  • 遵守
    中央电气
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