




产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
相关文章
| 品牌 | MKS/美国 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 半导体 |
流量范围为 250 至 500 标准升/分钟
密封件和阀塞可选材质为氟橡胶 (Viton)、丁腈橡胶 (Buna)、氯丁橡胶 (Neoprene) 或三元乙丙橡胶 (EPDM)。
模拟量、RS485、Profibus™ 或 DeviceNet™ 输入/输出
标准闭路电导泄漏率小于满量程的 1.0%。
1至2秒的稳定时间
2 至 3 秒的稳定时间和低于设定值 1% 的设定点精度优于其他典型的高流量 MFC。即使在 IE500A 配置的满量程流量范围的 2% 以内,也能保持精确控制。多气体/多量程功能,以及对精度、控制范围和瞬态响应的严格性能指标,使用户能够最大限度地减少高流量 MFC 的库存。
多气体/多量程功能(以及其他自定义控制功能)可通过MFC的嵌入式诊断接口进行访问,无需任何特殊软件或硬件即可操作。只需一根标准以太网线和一个支持JAVA的HTML浏览器(这些工具随处可见)即可。典型高流量气体的关键气体参数已存储在设备中。配置设备只需从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围即可。诊断接口还允许用户执行常规设备健康检查、绘制流量响应图以及存储运行数据以供离线分析。
这些质量流量控制器专为严苛环境而设计,在这些环境中,防止液体和灰尘侵入至关重要。其应用包括可能需要“冲洗"的场合,例如存在水分和颗粒物的工业玻璃生产。凭借其 IP66 防护等级的外壳,这些质量流量控制器能够满足这些恶劣环境的严格要求。
