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MKS 美国 IE500A 大流量工业质量流量控制器

简要描述:MKS 美国 IE500A 大流量工业质量流量控制器用弹性体密封的多气体/多量程质量流量控制器,其防护等级为 IP66,专为严苛的工业环境而设计,可有效防止液体和灰尘侵入。IE500A 的满量程范围为 250 slm 至 500 slm(氮气当量)。如此宽广的流量范围得益于其独特的控制阀设计,该设计能够快速响应设定值的变化,同时保持远低于其他高流量质量流量控制器的闭路泄漏率。

基础信息

产品型号

IE500A-

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-16

浏览次数

72
详细介绍
品牌MKS/美国价格区间面议
产品种类质量式介质分类气体
产地类别进口应用领域半导体
  • 流量范围为 250 至 500 标准升/分钟

  • 密封件和阀塞可选材质为氟橡胶 (Viton)、丁腈橡胶 (Buna)、氯丁橡胶 (Neoprene) 或三元乙丙橡胶 (EPDM)。

  • 模拟量、RS485、Profibus™ 或 DeviceNet™ 输入/输出

  • 标准闭路电导泄漏率小于满量程的 1.0%。

  • 1至2秒的稳定时间

MKS 美国 IE500A 大流量工业质量流量控制器MKS 美国 IE500A 大流量工业质量流量控制器
规格

  • 类型
    质量流量控制器
  • 满量程流量范围
    250-500 标准流明(N2当量)
  • 安装类型
    兼容:
    12 毫米 Swagelok 接口
    、0.5 英寸管压接头
    、0.75 英寸压接头
    、0.5 英寸 NPT 内螺纹接口、
    0.75 英寸 NPT 内螺纹接口、
    8 英寸 VCR外螺纹接口
    、8 英寸 VCO 外螺纹接口
  • 连接器
    Profibus
    PROFINET
    15 针 D(模拟 0-5 VDC I/O)
    15 针 D(4-20 mA I/O)
  • 最大入口压力
    150 psig
  • 正常运行压差
    40至50磅/平方英寸
  • 爆破压力
    1500 psig
  • 控制范围
    满负荷的 2% 至 100%
  • 典型精度
    设定值±1%(满量程20%至100%之间);
    满量程5%至20%之间,设定值±0.25%
  • 重复性
    阅读的±0.5%
  • 解决
    阅读的0.1%
  • 零温度系数
    <0.05% 满量程/°C
  • 跨度温度系数
    读数的<0.08%/°C
  • 入口压力系数
    雷丁/psi 的 <0.08%
  • 典型稳定时间
    在 50 psi 压力下,高于满量程的 10% 时,典型值小于 3 秒。
  • 热身时间
    1小时
  • 工作温度
    10°至50°C
  • 储存湿度
    相对湿度0%至95%,无冷凝
  • 储存温度
    -20°至65°C
  • 外部泄漏完整性
    <1 x 10<sup-9< sup="" style="box-sizing: border-box;">(scc/秒 He)
  • 关闭阀门的泄漏完整性
    在 40 psia 到真空 (<500 mTorr) 时,满量程的 <1.0%
  • 密封材料
    Viton®
    丁腈橡胶
    Neoprene®
    三元乙丙橡胶
  • 湿润材料
    316不锈钢、Elgiloy合金、430FR铝合金、聚四氟乙烯(标准)
  • 表面处理
    平均Ra值为16微英寸。
  • 外壳额定值
    IP66
  • 电源要求
    15-24 VDC @ (<8 瓦)
  • 流量输入输出信号
    电压:0-5VDC
    电流:4-20mA
  • 模拟 I/O 连接器
    电压:15针D型公头
    电流:15针D型公头
  • 重量
    12.7磅(5.8公斤)
  • 遵守
    中央电气

特征

快速稳定时间

2 至 3 秒的稳定时间和低于设定值 1% 的设定点精度优于其他典型的高流量 MFC。即使在 IE500A 配置的满量程流量范围的 2% 以内,也能保持精确控制。多气体/多量程功能,以及对精度、控制范围和瞬态响应的严格性能指标,使用户能够最大限度地减少高流量 MFC 的库存。

多气体/多范围功能

多气体/多量程功能(以及其他自定义控制功能)可通过MFC的嵌入式诊断接口进行访问,无需任何特殊软件或硬件即可操作。只需一根标准以太网线和一个支持JAVA的HTML浏览器(这些工具随处可见)即可。典型高流量气体的关键气体参数已存储在设备中。配置设备只需从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围即可。诊断接口还允许用户执行常规设备健康检查、绘制流量响应图以及存储运行数据以供离线分析。

IP66防护等级外壳

这些质量流量控制器专为严苛环境而设计,在这些环境中,防止液体和灰尘侵入至关重要。其应用包括可能需要“冲洗"的场合,例如存在水分和颗粒物的工业玻璃生产。凭借其 IP66 防护等级的外壳,这些质量流量控制器能够满足这些恶劣环境的严格要求。

MKS 美国 IE500A 大流量工业质量流量控制器
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