控制范围
满负荷的 2% 至 100%
满量程流量范围
10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000 sccm（N2 等效值）
安装类型
Swagelok® 4 VCR®、Swagelok 4 VCO®、¼" Swagelok®
模拟 I/O 连接器
9针或15针D型
密封材料
Buna-N、Neoprene®、Kalrez®
最大入口压力
150 psig
正常运行压差
10 至 40 psid（10 至 5000 sccm）
15 至 40 psid（10000 至 30000 sccm）
（MFC 出口处为大气压）
典型精度
满量程的±1.0%
重复性
满量程的±0.2%
解决
占总规模的0.1%。
零温度系数
<0.05% 满量程/°C
跨度温度系数
读数的<0.08%/°C
压力系数
雷丁/psi 的 <0.02%
热身时间
2分钟
典型稳定时间
小于2秒
工作温度
0°至50°C
电源要求
±15 VDC（启动电流 200 mA，稳态电流 100 mA）
设定点控制信号
0 至 5 VDC，电阻小于 20K Ω
湿润材料
316L不锈钢、Viton®、镍
外部泄漏完整性
< 1 x 10 -9
关闭阀门的泄漏完整性
在 40 psig 入口压力下，大气压力下满量程的 1.0% 以下
遵守
中央电气

特征

外形尺寸、功能性、可替换的MFC

1179C 是目前市场上最常见 MFC 的直接替代品，尺寸和功能匹配。其标准的 3 英寸尺寸使其可以直接安装到原有空间，无需改动现有燃气管路。电气连接器采用与行业标准相同的 D 型连接器，引脚排列、信号和功能均相同，因此无需重新布线或连接器连接。1179C 兼容 MKS 或其他制造商的 MFC 电源和显示电子元件。

性能和可靠性

1179C 的设计充分考虑了性能和可靠性，并通过严格的平均故障间隔时间 (MTBF) 分析和广泛的 STRIFE 测试确保了其表现。1179C 符合 IEC-801 标准，可耐受静电放电 (ESD) 和射频干扰 (RFI) 环境。如下图所示，MKS 的新型传感器将零点漂移和量程漂移降至。1179C 还符合欧洲 CE 认证要求。为了体现我们对 1179C 性能的信心，我们为其提供两年质保。

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