简要描述：优惠供应EBARA荏原EMT3800MK复合涡轮分子泵日本 EBARA 荏原五轴主动磁悬浮分子泵，氮气抽速 3300L/s，泵体集成一体式温控控制器，进气法兰 DN320，水冷为主，可定制风冷版本。无油无碳氢污染，温控结构降低材料放气，支持任意姿态安装，适配半导体超大腔体量产超高真空制程，需搭配大抽速干式前级泵使用。

优势代理品牌

产品简介：EMT 系列是日本 EBARA 荏原五轴磁悬浮轴承型复合涡轮分子泵，无油无碳氢污染，抽速覆盖 340~2400L/s，另有 EMT-MK 高抽速版本可达 4200L/s。采用磁悬浮无接触转子，可选空冷 / 水冷、耐蚀涂层、控温、抗辐射、超低振动定制版本，安装姿态不受限制，用于超高真空 UHV、半导体刻蚀、镀膜、电镜、精密分析设备等高要求洁净真空场景。

产品特点

1. 五轴主动磁悬浮轴承，转子无机械接触、无磨损，无润滑油，消除碳氢污染，适合超高真空 UHV 工艺，维护周期极长。

2. 安装姿态自由，可任意角度摆放，不受安装方位限制，设备集成灵活。

3. 多规格定制选型：标配 / 耐化学腐蚀涂层型、控温版本、抗辐射版本、超低振动版本；冷却可选风冷或者水冷，控制器分一体集成式、独立分离式两种。

4. 高气体吞吐量，可承受工艺冲击与突发放气，适配半导体刻蚀、溅射等有工艺气体的严苛制程。

5. 智能监控与通讯，内置运行监测、故障报警，支持网络通讯，可接入产线自动化控制系统；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 安全规范。

6. 振动极低，对振动敏感的检测设备、电子显微镜、X 射线分析设备非常友好。

EMT 系列基础型号清单

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                                                    EMT-MK 大抽速子系列：EMT1700MK、EMT2200MK、EMT3300MK、EMT3800MK、EMT4200MK，抽速 1650~4200L/s。

核心技术参数

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                      适用范围

半导体 EUV 光刻、刻蚀、PECVD、PVD 溅射、ALD 原子层沉积；CD 线宽量测、SEM/TEM 透射扫描电镜；XPS、X 射线分析、质谱、残余气体分析仪 RGA；MEMS 微加工、薄膜镀膜；同步辐射、粒子加速器、科研超高真空实验；LED、光伏真空制程。

标准配件

分子泵主机；可选配件：一体式控制器、水冷套件、耐蚀涂层、抗辐射组件、振动监测模块、原厂维修备件包。
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